產(chǎn)品描述

CMPro-M系列P-高通量(PP)熔噴深層濾芯由復(fù)合結(jié)構(gòu)的聚丙烯濾材制備而成，用于CMP slurry輸送系統(tǒng)（SDS）的過(guò)濾,。其梯度設(shè)計(jì)使其能夠很好地應(yīng)對(duì)化學(xué)機(jī)械研磨（ chemical mechanical polishing,，CMP）漿料過(guò)濾的挑戰(zhàn)。錐形孔結(jié)構(gòu)使CMPro-M系列P-高通量(PP)熔噴深層濾芯在優(yōu)秀的顆粒攔截效率和高納污量之間實(shí)現(xiàn)了很好的平衡,。它可以有效去除CMP slurry中具有破壞性的大顆粒,，并且保持過(guò)濾前后有效顆粒粒徑分布（PSD）保持不變。CMPro-M可滿(mǎn)足多種不同的CMP應(yīng)用場(chǎng)景,，包括氧化物CMP,，淺溝槽隔離CMP 和金屬配線(xiàn)CMP等。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 梯度過(guò)濾結(jié)構(gòu),，確保濾芯的過(guò)濾效率

• 銳利的效率曲線(xiàn),，顯著提升尺寸過(guò)大顆粒的去除率，同時(shí)減少有效顆粒的去除

• 優(yōu)化使用壽命,，降低成本

• 制造過(guò)程中不添加表面活性劑和粘結(jié)劑,，減少析出

典型應(yīng)用

產(chǎn)品保證

工作特性

產(chǎn)品尺寸

流量-壓差曲線(xiàn)圖