輝光放電是指低壓氣體中顯示輝光的氣體放電現(xiàn)象,，即是稀薄氣體中的自持放電(自激導(dǎo)電)現(xiàn)象,。由法拉第第一個(gè)發(fā)現(xiàn)。它包括亞正常輝光和反常輝光兩個(gè)過渡階段,。輝光放電主要應(yīng)用于氖穩(wěn)壓管,、氦氖激光器等器件的制造,。

　　輝光放電(或異常輝光放電)可以由直流或脈沖直流靶電源通過氣體放電形成,也可以用交流(矩形波雙極脈沖中頻電源,、正弦波中頻與射頻)靶電源通過真空室內(nèi)的氣體放電產(chǎn)生。

　　氣體放電時(shí),，充什么樣的工作氣體,、氣壓的高低、電流密度的大小,、電場與磁場強(qiáng)度的分布與高低,、電極的不同材質(zhì)、形狀和位置特性等多種因素都會(huì)影響到放電的過程和性質(zhì),，也會(huì)影響到放電時(shí)輻射光的性質(zhì)和顏色,。

　　(1)直流輝光放電

　　①在陰-陽極間加上直流電壓時(shí),，腔體內(nèi)工作氣體中剩余的電子和離子在電場的作用下作定向運(yùn)動(dòng),，于是電流從零開始增加;

　　②當(dāng)極間電壓足夠大時(shí),，所有的帶電離子都可以到達(dá)各自電極,，這時(shí)電流達(dá)到某一最大值(即飽和值);

　　③繼續(xù)提高電壓,，導(dǎo)致帶電離子的增加,，放電電流隨之上升;當(dāng)電極間的放電電壓大于某一臨界值(點(diǎn)火起輝電壓)時(shí)，放電電流會(huì)突然迅速上升,，陰-陽極間電壓陡降并維持在一個(gè)較低的穩(wěn)定值上,。工作氣體被擊穿、電離,，并產(chǎn)生等離子體和自持輝光放電,，這就是“湯生放電”的基本過程，又稱為小電流正常輝光放電,。

　?、艽趴匕械年帢O接靶電源負(fù)極，陽極接靶電源正極,，進(jìn)入正常濺射時(shí),，一定是在氣體放電伏-安特性曲線中的“異常輝光放電區(qū)段” 運(yùn)行,。其特點(diǎn)是，隨著調(diào)節(jié)電源輸出的磁控靶工作電壓的增加,，濺射電流也應(yīng)同步緩慢上升,。

　　(2)脈沖直流輝光放電

　　脈沖或正弦半波中頻靶電源的單個(gè)脈沖的氣體放電應(yīng)與直流氣體放電伏-安特性曲線異常輝光放電段及之前段的變化規(guī)律相符?？梢詫⑵湟暈闅怏w放電伏-安特性在單個(gè)脈沖的放電中的復(fù)現(xiàn),。脈沖直流靶電源在脈沖期間起輝濺射，在脈沖間隙自然滅輝(因頻率較高,，肉眼難以分辨),。

　　濺射靶起輝放電后，當(dāng)電源的輸出脈沖的重復(fù)頻率足夠高時(shí),，由于真空腔體內(nèi)的導(dǎo)電離子還沒有*被中和完畢,，第二個(gè)(以后)重復(fù)脈沖的復(fù)輝電壓與濺射靶的工作電壓接近或相同。當(dāng)電源輸出脈沖的重復(fù)頻率很低(例如幾百HZ以下)或滅弧時(shí)間過長(大于100ms以上),，濺射靶起輝放電后,，由于真空腔體內(nèi)的導(dǎo)電離子已基本被中和掉，第二個(gè)(以后)重復(fù)脈沖的復(fù)輝電壓恢復(fù)至較高數(shù)值,，與點(diǎn)火起輝時(shí)的高電壓接近或相同,。