電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀主要由進(jìn)樣系統(tǒng),、激發(fā)光源,、分光系統(tǒng)、檢測(cè)器,、控制與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)五部分組成,。

　　電感耦合等離子體發(fā)射光譜分析是以射頻發(fā)生器提供的高頻能量通過(guò)感應(yīng)耦合器，在炬管中產(chǎn)生高頻電磁場(chǎng),。通過(guò)微電火花的放電,，炬管中的氬氣少量電離，粒子流的定向移動(dòng)和不斷碰撞,，導(dǎo)致離子和電子的大量產(chǎn)生(雪崩效應(yīng)),，產(chǎn)生與耦合線圈平行的渦流電流并釋放出巨大能量，在高頻電流的趨膚效應(yīng)和氣流作用下,，形成環(huán)狀結(jié)構(gòu)的并可以自持的高溫等離子體炬焰,。

　　電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的使用和維護(hù)

　　1、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀器一定要有良好的使用環(huán)境

　　等離子體光譜與其它大型精密儀器一樣，需要在一定的環(huán)境下運(yùn)行,，失去這些條件,，不僅儀器的使用效果不好，而且改變儀器的檢測(cè)性能,，甚至造成損壞，縮短壽命。根據(jù)光學(xué)儀器的特點(diǎn),，對(duì)環(huán)境溫度和濕度有一定要求。如果溫度變化太大,，光學(xué)元件受溫度變化的影響就會(huì)產(chǎn)生譜線漂移,，造成測(cè)定數(shù)據(jù)不穩(wěn)定，一般室溫要求維持在70～75攝氏度間的一個(gè)固定溫度,，溫度變化應(yīng)小于±1攝氏度,。而環(huán)境濕度過(guò)大，光學(xué)元件,，特別是光柵容易受潮損壞或性能降低,。電子系統(tǒng)，尤其是印刷電路板及高壓電源上的元件容易受潮燒壞,。濕度對(duì)高頻發(fā)生器的影響也十分重要,，濕度過(guò)大，輕則等離子體不容易點(diǎn)燃，重則高壓電源及高壓電路放電擊毀元件,，如功率管隔直陶瓷電容擊穿,，輸出電路阻抗匹配、網(wǎng)絡(luò)中的可變電容放電等,，以至損壞高頻發(fā)生器,。一般室內(nèi)濕度應(yīng)小于百分之70，最好控制在百分之45～60之間,，應(yīng)有空氣凈化裝置,。過(guò)去由于基建施工，我們的環(huán)境條件很差,，甚至儀器室多次被水淹,，受潮及室溫變化過(guò)大，儀器不是定位困難就是經(jīng)常發(fā)生故障,。搬到新的儀器室后條件改善了,，儀器運(yùn)行就正常多了。

　　2,、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀器的供電線路要符合儀器的要求

　　為了保證ICP儀的安全運(yùn)行,，供電線路必須要有足夠大的容量，否則儀器運(yùn)行時(shí)線路的電壓降過(guò)大,，影響儀器壽命,。作為一臺(tái)精密測(cè)量?jī)x器，它還需要有相對(duì)穩(wěn)定的電源,，供電電壓的變化一般不超過(guò)+百分之5,，如超過(guò)這個(gè)范圍，需要使用自動(dòng)調(diào)壓器或磁飽和穩(wěn)壓器,，不能使用電子穩(wěn)壓器,，由于電子穩(wěn)壓器在電壓高時(shí)產(chǎn)生削波，造成電脈沖,，影響電子計(jì)算機(jī),、微處理器及相敏放大器的工作，引起誤動(dòng)作,。連續(xù)正弦波電源才能保證這些電子電路的正常工作,，儀器供電線路最好單獨(dú)從供電變壓器的配電盤(pán)上得到，盡量不與大電機(jī),，大的通風(fēng)機(jī),，空調(diào)機(jī)，馬弗爐等大的用電設(shè)備共用一條供電線路,，以免在這些用電設(shè)備起動(dòng)時(shí),，供電線路的電壓大幅度的波動(dòng),，造成儀器工作不穩(wěn)定。允許電流大于30安培的儀器要單獨(dú)接地,。一般光譜儀地線電阻要小于5歐姆,，計(jì)算機(jī)地線電阻要小于0.25歐姆(ASTM)標(biāo)準(zhǔn)，以防相互干擾,。

　　在儀器的使用中,，應(yīng)經(jīng)常注意電源的變化，不能長(zhǎng)期在過(guò)壓或欠壓下工作,，根據(jù)資料介紹,，當(dāng)儀器在過(guò)壓下工作會(huì)造成高頗發(fā)生器功率大管燈絲過(guò)度的蒸發(fā)和老化，電子管的壽命將會(huì)大大的縮短(是正常壽命的五分之～一六分之一),。如果在欠壓下工作,，電子管燈絲溫度過(guò)低，電子發(fā)射不好,，也容易造成電子發(fā)射材料過(guò)早老化,，同樣也縮短電子管的壽命；儀器運(yùn)行中供電電壓的較大波動(dòng)同樣也會(huì)造成高頻發(fā)生器輸出功率的不穩(wěn)定,，對(duì)測(cè)定結(jié)果的好壞影響極大,，因此，應(yīng)當(dāng)注意供電電源的質(zhì)量,。

　　3,、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀器防塵

　　國(guó)內(nèi)一般實(shí)驗(yàn)室都不具備防塵、過(guò)濾塵埃的設(shè)施,，當(dāng)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)需要采用排風(fēng)機(jī),，排除儀器的熱量及工作時(shí)產(chǎn)生的有毒氣體時(shí),，實(shí)驗(yàn)室與外部就形成壓力差,，實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)生負(fù)壓，室外含有大量灰塵的空氣從門(mén)窗的縫隙中流入室內(nèi),，大量積聚在儀器的各個(gè)部位上,，容易造成高壓元件或接頭打火，電路板及接線,、插座等短路,、漏電等各種各樣的故障，因此,，需要經(jīng)常進(jìn)行除塵,。特別是計(jì)算機(jī)、電子控制電路,、高頻發(fā)生器,、顯示器,、打印機(jī)、磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器等,，定期拆卸或打開(kāi),，用小毛刷清掃，并同時(shí)使用吸塵器將各個(gè)部分的積塵吸除,。對(duì)光電倍增管負(fù)高壓電源線,、及計(jì)算機(jī)顯示器的高壓線及接頭，還要用紗布沾上少許*小心的抹除積炭和灰塵,。磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器及打印機(jī)清出灰塵之后,，要在機(jī)械活動(dòng)部件滴加少許儀表油。打印機(jī)的打印頭還要拆下,，用軟毛刷刷掃,，并用絨布抹凈，防止針孔被紙屑堵塞,，然后按照說(shuō)明書(shū)調(diào)整一定的打印壓力,。對(duì)于儀器除塵，一般由電子,，儀修或計(jì)算機(jī)的專(zhuān)業(yè)人員幫助,，儀器使用或管理人員如不懂電子知識(shí)，不了解儀器結(jié)構(gòu),，不要輕易去動(dòng),，以免發(fā)生意外，除塵應(yīng)事先停機(jī)并關(guān)掉供電電源下進(jìn)行,。

　　4,、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀器對(duì)氣體控制系統(tǒng)的維護(hù)保養(yǎng)

　　ICP的氣體控制系統(tǒng)是否穩(wěn)定正常地運(yùn)行，直接影響到儀器測(cè)定數(shù)據(jù)的好壞,，如果氣路中有水珠,、機(jī)械雜物雜屑等都會(huì)造成氣流不穩(wěn)定，因此,，對(duì)氣體控制系統(tǒng)要經(jīng)常進(jìn)行檢查和維護(hù),。首先要做氣體試驗(yàn)，打開(kāi)氣體控制系統(tǒng)的電源開(kāi)關(guān),，使電磁閥處于工作狀態(tài),，然后開(kāi)啟氣瓶及減壓閥，使氣體壓力指示在額定值上,，然后關(guān)閉氣瓶,，觀察減壓閥上的壓力表指針，應(yīng)在幾個(gè)小時(shí)內(nèi)沒(méi)有下降或下降很少,，否則氣路中有漏氣現(xiàn)象,，需要檢查和排除,。第二，由于氬氣中常夾雜有水分和其它雜質(zhì),，管道和接頭中也會(huì)有一些機(jī)械碎屑脫落,，造成氣路不暢通。因此,，需要定期進(jìn)行清理,，拔下某些區(qū)段管道，然后打開(kāi)氣瓶,，短促地放一段時(shí)間的氣體,，將管道中的水珠，塵粒等吹出,。在安裝氣體管道,，特別是將載氣管路接在霧化器上時(shí)，要注意不要讓管子彎曲太厲害,，否則載氣流量不穩(wěn)而造成脈動(dòng),，影響測(cè)定。

　　5,、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀器對(duì)進(jìn)樣系統(tǒng)及炬管的維護(hù)

　　霧化器是進(jìn)樣系統(tǒng)中精密,，最關(guān)鍵的部份，需要很好的維護(hù)和使用,。要定期的清理,，特別是測(cè)定高鹽溶液之后，霧化器的頂部,，炬管?chē)娮鞎?huì)積有鹽份,，造成氣溶膠通道不暢，常常反映出來(lái)的是測(cè)定強(qiáng)度下降,，儀器反射功率升高等,。炬管上積塵或積炭都會(huì)影響點(diǎn)燃等離子體焰炬和保持穩(wěn)定，也影響反射功率,，因此,，要定期用酸洗,，水洗,，最后，用無(wú)水乙醇洗并吹干,，經(jīng)常保持進(jìn)樣系統(tǒng)及炬管的清潔,。

　　6、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀器使用中盡量減少開(kāi)停機(jī)的次數(shù)

　　開(kāi)機(jī)測(cè)定前,，必須做好安排,，事先標(biāo)好各項(xiàng)準(zhǔn)備工作,，切忌在同一段時(shí)間里開(kāi)開(kāi)停停，儀器頻繁開(kāi)啟容易造成損壞,，這是因?yàn)閮x器在每次開(kāi)啟的時(shí)候,，瞬時(shí)電流大大高于運(yùn)行正常時(shí)的電流，瞬時(shí)的脈沖沖擊,，容易造成功率管燈絲斷絲,，碰極短路及過(guò)早老化等，因此使用中需要倍加注意,，一旦開(kāi)機(jī)就一氣呵成,，把要做的事做完，不要中途關(guān)停機(jī)