高純氣體(High Purity Gases)氣體工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級純度的氣體,。對于不同類別的氣體,，純度指標(biāo)不同，例如對于氮,，氫，氬,，氦而言,，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣,，純度為99.199%即可稱高純氧,；對于碳?xì)浠衔铮兌葹?9199%的即可認(rèn)為是高純氣體,。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬,，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮,，氫,，氬,，氦可作為運(yùn)載氣，保護(hù)氣和配制混合氣的底氣,。 　　
       高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體和無機(jī)高純氣體,。
有機(jī)高純氣體：
1、烷烴類：
　　甲烷(CH4),、乙烷(C2H6),、丙烷(C3H8)、環(huán)丙烷(cyc-C3H6),、正丁烷(n-C4H10),、異丁烷(i-C4H10)、正戊烷(n-C5H12),、新戊烷(neo-C5H12),、氯甲烷(CH3Cl)、氯乙烷(C2H5Cl),、三氟甲烷(CHF3),、環(huán)氧乙烷(C2H4O)、砷烷(AsH3),、磷烷(PH3),、硼烷(B2H6)、硅烷(SiH4)等,；
2,、烯烴類：
　　乙烯(C2H4)、丙烯(C3H6),、丙二烯(C3H4==),、1-丁烯(1-C4H8)、異丁烯(i-C4H8),、反-2-丁烯(t-2-C4H8),、順-2-丁烯(c-2-C4H8)、1.2-丁二烯(1.2-C4H6),、1.3-丁二烯(1.3-C4H6),、氯乙烯(C2H3Cl)等；
3,、炔烴類：
　　乙炔(C2H2),、1-丁炔(1-C4H6)、2-丁炔(2-C4H6),、甲基乙炔(C3H4),、乙烯基乙炔(C4H4=≡)等；
4,、其他：
　　二甲醚(C2H6O),、甲硫醇(CH4S),、熏蒸劑(C2H4O-CO2)等
無機(jī)高純氣體：
1、空氣(Air),、氫氣(H2),、氧氣(O2)、氮?dú)?N2),、氬氣(Ar),、氦氣(He)、氖氣(Ne),、氪氣(Kr),、氙氣(Xe)等； 　　
2,、氨氣(NH3),、氯氣(Cl2)、二氧化硫(SO2),、一氧化碳(CO),、二氧化碳(CO2)、二氧化氮(NO2),、氧化亞氮(N2O),、氧硫化碳(COS)、氯化氫(HCl),、溴化氫(HBr),、硫化氫(H2S)等； 　　
3,、三氟化硼(BF3),、三氯化硼(BCl3)、四氟化碳(CF4),、四氟化硅(SiF4),、　四氯化硅(SiCl4)、六氟化硫(SF6)等

常見高純氣體的用途：
環(huán)氧乙烷可用作生產(chǎn)增塑劑,、潤滑劑等,； 　　
氯甲烷是重要的甲基化劑，還可作致冷劑,、發(fā)泡劑等,； 　　
氯乙烷可用作煙霧劑,、冷凍劑,、汽油抗震劑、局部麻醉劑,； 　　
二甲醚可作噴氣推進(jìn)劑,、制冷劑,、麻醉劑；甲硫醇用于合成染料,、醫(yī)藥,、農(nóng)藥； 　　
乙炔可直接用于金屬切割焊接,、原子吸收,；乙烯基乙炔主要作為氯丁橡膠原料等.