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高真空電子東及熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)--DZS500

真空室結構:U形前開門

真空室尺寸:500x500x600mm

極限真空度:≤6.67E-5Pa

沉積源:4個11cc坩堝

樣品尺寸,，溫度:φ4英寸,，1片,，最高800C

占地面積(長x寬x高):約2.7米x1.7米x2.1米

電控描述:全自動

工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤+3%

特色參數(shù):樣品可自轉(zhuǎn),，轉(zhuǎn)速可調(diào)

產(chǎn)品概述：
本沉積系統(tǒng)可用于制備光學薄膜,、電學薄膜、磁性薄膜、硬質(zhì)保護薄膜和裝飾薄膜等,，工藝性能穩(wěn)定,、模塊化結構，采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng),。 

設備特點：

本設備是一個鍍膜平臺,，可把磁控靶拆下?lián)Q電子槍成為電子束鍍膜系統(tǒng)、或換蒸發(fā)源作為熱蒸發(fā)系統(tǒng),、或換上離子槍作為離子束鍍膜系統(tǒng)等,。
設備用途：
用于納米級單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜,、金屬膜,、半導體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備,?？蓮V泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研項目