徠卡顯微鏡—近代干涉測(cè)試技術(shù)

徠卡顯微鏡干涉原理在測(cè)試技術(shù)上的應(yīng)用是大量的,，其中有些已是我們所熟知的,，本節(jié)介紹幾種近代光學(xué)測(cè)試領(lǐng)域里主要的雙光束干涉儀。闡明其光學(xué)系統(tǒng)原理及測(cè)試方法,。

一,、泰曼一格林干涉儀測(cè)試

泰曼一格林干涉儀實(shí)質(zhì)上是邁克爾遜干涉儀的一種變型,，在近代的光學(xué)檢驗(yàn)領(lǐng)域里,，它是一種很重要的儀器，如圖1—16所示,。它的獨(dú)持的物理性質(zhì)是：準(zhǔn)單色點(diǎn)光源和透鏡Ll提供射的平面波（平行光束）,，干涉儀的一臂裝有參考反射鏡肘i，另一臂則裝上被測(cè)試的光學(xué)元件透鏡Lz使得全部通過孔徑的光都能進(jìn)入位于12焦點(diǎn)處的觀察孔,，所以能看到整個(gè)視場(chǎng)，即閉看到射I和肘z的任何一部分*干涉條紋可用目視觀察或用照相機(jī)（鏡頭應(yīng)位于Lz的焦點(diǎn)處）軀干涉條紋拍攝下來進(jìn)行分析,。根據(jù)干涉條紋的變化,，就可判斷被測(cè)光學(xué)元件的質(zhì)量。連續(xù)輸d的氛一氖氣體激光器是一個(gè)很好的光源。輸出功率為1mw的氦一氖氣體激光器,，就足以在窒個(gè)干涉場(chǎng)上產(chǎn)生明亮而清晰的干涉條紋,。激光器高度的時(shí)間相干性，使泰曼干涉儀進(jìn)行大光琶差的測(cè)試成為可能,，它不僅能適應(yīng)各種靜態(tài)測(cè)試的要求,，也能適應(yīng)大位移的動(dòng)態(tài)測(cè)量。激光勞紋的高亮度,，還能縮短對(duì)條紋照相的曝光時(shí)間,，因而能減少不希望有的振動(dòng)效應(yīng),。使用激光氫的泰曼一格林干涉儀是光學(xué)檢測(cè)中zui有效的工具之一,。固1—16中所示的儀器是檢驗(yàn)透鏡的丟曼一格林干涉儀,，其中球面鏡肘：的曲率中心相被測(cè)透鏡的焦點(diǎn)重合。如果待測(cè)透鏡沒有便差,，那么,，返回到分束器的反射波將仍是平面的,。然而,，如果被測(cè)透鏡有球差,、望差或像散引定波陣面的變形,，那么就會(huì)清楚地看到具有畸變的一幅干涉條紋圖,，并且可把干涉條紋拍攝下習(xí)進(jìn)行分析。若把6fz換成平面鏡，就可以檢驗(yàn)許多別的光學(xué)元件．如梭鏡,，光學(xué)平板等,。在對(duì)這些條紋圖進(jìn)行解釋之后,，光學(xué)檢驗(yàn)人員就可據(jù)此指導(dǎo)進(jìn)一步的加工（修光圈）。在制造非常精密9光學(xué)系統(tǒng),，望運(yùn)鏡,，高空照相機(jī)等的時(shí)候,，還可采用電子學(xué)方法來掃描干涉固，zui后的數(shù)據(jù)用食算機(jī)分析,。計(jì)算機(jī)控制的描圖儀自動(dòng)畫出表面的等高線圖，或者畫出被測(cè)元件產(chǎn)生畸變波陣目的三維透視圖,。整個(gè)加工過程都可用這些力法來保證得到高質(zhì)量的光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng),。

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