研究級(jí)金相顯微鏡VMX6L大行程移動(dòng)工作平臺(tái),，長(zhǎng)工作距半復(fù)消色差物鏡，圖像銳利清晰,，廣泛應(yīng)用于晶圓,、FPD等各項(xiàng)工業(yè)檢測(cè)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1,、VMX4L / VMX6L可以實(shí)現(xiàn)X,、Y方向105mm-158mm的移動(dòng)范圍。

2,、全*設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距專業(yè)金相物鏡,成像效果更*越,。

3、各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對(duì)比度的顯微圖像,。

4,、附件齊全,配置完善,可靈活進(jìn)行系統(tǒng)組合與功能拓展,。

5、人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),、堅(jiān)實(shí)可靠的系統(tǒng)結(jié)構(gòu),。

觀察圖實(shí)例

豐富的觀察方式，滿足您的檢測(cè)需求

DIC微分干涉觀察

研究級(jí)金相顯微鏡VMX6L在正交偏光的基礎(chǔ)上 , 插入DIC棱鏡,，即可進(jìn)行DIC微分干涉觀察,。使用DIC技術(shù) ,可以使樣品表面微小的高

低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，*大的提高圖像的對(duì)比度,?？善ヅ鋷IC功能的物鏡，使整個(gè)視場(chǎng)的干涉色一致,，微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好,。

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

1,、工業(yè)檢測(cè)級(jí)顯微鏡體,，低重心、高剛性,、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架,，*大的提高的系統(tǒng)的抗振能力與成像的穩(wěn)定性。

2,、前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可以適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓,。

3、MX6R機(jī)型底座內(nèi)部設(shè)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng),，長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過(guò)熱,。

高性能物鏡轉(zhuǎn)換器

1、VMX機(jī)型的轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì),，轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適,，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制,，根據(jù)MX系列機(jī)型配置及功能的不同,，可以選擇不同型號(hào)的轉(zhuǎn)換器。

2,、PI103C51型：明場(chǎng)5孔轉(zhuǎn)換器,，帶DIC插槽，用于VMX4L/VMX4LT機(jī)型,。

3,、PI115C6BDI型：明暗場(chǎng)6孔轉(zhuǎn)換器,，帶DIC插槽，用于VMX6L/VMX6LT機(jī)型,。

不同的照明器可供選擇

1,、明場(chǎng)反射照明器：?jiǎn)晤w大功率5W暖色LED照明，適用于VMX4L/VMX4LT機(jī)型,。

2,、明場(chǎng)反射照明器：柯拉照明系統(tǒng)，帶視場(chǎng)光闌與孔徑光闌,，中心可調(diào),；帶斜照明裝置，適用于VMX4L/VMX4LT機(jī)型,。

3,、明暗場(chǎng)反射照明器：帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌,，中心均可調(diào),；帶明暗場(chǎng)照明切換裝置，適用于MX6R/MX6RT機(jī)型,。

4,、透射照明: VMX系列均可使用透反兩用機(jī)型。透射光源為單顆大功率5W暖色LED,，  并帶有N.A.0.5聚光鏡,。

5、透射照明與反射照明可獨(dú)立控制,，即透反照明可同時(shí)開(kāi)啟,，亦可單獨(dú)開(kāi)啟。

大行程移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)

1,、VMX系列機(jī)型采用4〃/6〃平臺(tái)設(shè)計(jì),，不僅適用于相應(yīng)尺寸的晶圓及FPD檢測(cè)，而且可用于小尺寸樣品的陣列檢測(cè),。

2,、VMX4L/VMX4LT：4英寸雙層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，移動(dòng)范圍105mm×105mm,；VMX6L/VMX6LT：6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),，反射照明移動(dòng)范圍158mm×158

3、mm,，透射照明移動(dòng)范圍100mm×100mm,；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng),。

4,、通過(guò)使用平臺(tái)適配接口,，所有平臺(tái)可在VMX系列機(jī)型之間通用。

超長(zhǎng)工作距金相物鏡

1,、全*設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡,，采用半復(fù)消色差技術(shù)，其使用的多層寬帶鍍膜技術(shù),，使整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)的成像清晰銳利,，色彩自然，明亮舒適,。

2,、長(zhǎng)工作距設(shè)計(jì)，50X物鏡的有效工作距離7.9mm,，100X物鏡的有效工作距離也達(dá)到了 2.1mm,，更有20X超長(zhǎng)工作距金相物鏡，大幅拓展了VMX機(jī)型的同步設(shè)計(jì)了全套明暗場(chǎng)兩用物鏡,，適用于 VMX6L 機(jī)型,，暗場(chǎng)照明亮度比傳統(tǒng)暗場(chǎng)物鏡提高 2 倍以上。

無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈?zhǔn)饺坑^察頭

1,、ETTR型正像鉸鏈三目觀察頭,，所成像的方位與物體實(shí)際方位一致，物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同,，便于使用者觀察與操作,。適用于6英寸移動(dòng)平臺(tái)配合使用。

2,、VMX4LTH30R型鉸鏈三目觀察筒,，適用于4英寸平臺(tái)配合使用。

3,、兩種類型的觀察筒可以在VMX機(jī)型內(nèi)通用,。

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)