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近年來(lái)，國(guó)內(nèi)外在濕度傳感器研發(fā)領(lǐng)域取得了長(zhǎng)足進(jìn)步,。濕敏傳感器正從簡(jiǎn)單的濕敏元件向集成化,、智能化、多參數(shù)檢測(cè)的方向迅速發(fā)展,，為開發(fā)新一代濕度/溫度測(cè)控系統(tǒng)創(chuàng)造了有利條件，也將濕度測(cè)量技術(shù)提高到新的水平,。

　　1 濕敏元件的特性

　　濕敏元件是zui簡(jiǎn)單的濕度傳感器,。濕敏元件主要電阻式、電容式兩大類,。

　　1.1 濕敏電阻

　　濕敏電阻的特點(diǎn)是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜,，當(dāng)空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時(shí),，元件的電阻率和電阻值都發(fā)生變化，利用這一特性即可測(cè)量濕度,。濕敏電阻的種類很多,，例如金屬氧化特濕敏電阻、硅濕敏電阻,、陶瓷濕敏電阻等,。濕敏電阻的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高，主要缺點(diǎn)是線性度和產(chǎn)品的互換性差,。

　　1.2 濕敏電容

　　濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的,，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺,、酷酸醋酸纖維等,。當(dāng)環(huán)境濕度發(fā)生改變時(shí)，濕敏電容的介電常數(shù)發(fā)生變化,，使其電容量也發(fā)生變化,，其電容變化量與相對(duì)濕度成正比。濕敏電容的主要優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高,、產(chǎn)品互換性好,、響應(yīng)速度快、濕度的滯后量小,、便于制造,、容易實(shí)現(xiàn)小型化和集成化，其精度一般比濕敏電阻要低一些,。國(guó)外生產(chǎn)濕敏電容的主廠家有Humirel公司,、Philips公司、Siemens公司等,。以Humirel公司生產(chǎn)的SH1100型濕敏電容為例,，其測(cè)量范圍是（1%～99%）RH，在55%RH時(shí)的電容量為180pF（典型值）,。當(dāng)相對(duì)濕度從0變化到100%時(shí),，電容量的變化范圍是163pF～202pF。溫度系數(shù)為0.04pF/℃,，濕度滯后量為±1.5%,，響應(yīng)時(shí)間為5s。

　　除電阻式,、電容式濕敏元件之外,，還有電解質(zhì)離子型濕敏元件、重量型濕敏元件（利用感濕膜重量的變化來(lái)改變振蕩頻率）,、光強(qiáng)型濕敏元件,、聲表面波濕敏元件等,。濕敏元件的線性度及抗污染性差，在檢測(cè)環(huán)境濕度時(shí),，濕敏元件要長(zhǎng)期暴露在待測(cè)環(huán)境中,，很容易被污染而影響其測(cè)量精度及長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

　　2 集成濕度傳感器的性能特點(diǎn)及產(chǎn)品分類

　　目前,，國(guó)外生產(chǎn)集成濕度傳感器的主要廠家及典型產(chǎn)品分別為Honeywell公司（HIH-3602,、HIH-3605、HIH-3610型）,，Humirel公司（HM1500,、HM1520、HF3223,、HTF3223型）,，Sensiron公司（SHT11、SHT15型）,。

　　國(guó)內(nèi)生產(chǎn)集成濕度傳感器的廠家以深圳市意賽亞機(jī)電有限公司（HSM20,、HSM40）為首，這些產(chǎn)品可分成以下三種類型：

　　2.1 線性電壓輸出式集成濕度傳感器

　　典型產(chǎn)品有HSM20,、HSM40,、HIH3605/3610、HM1500/1520,。其主要特點(diǎn)是采用恒壓供電,，內(nèi)置放大電路，能輸出與相對(duì)濕度呈比例關(guān)系的伏特級(jí)電壓信號(hào),，響應(yīng)速度快,，重復(fù)性好，抗污染能力強(qiáng),。

　　2.2 線性頻率輸出集成濕度傳感器

　　典型產(chǎn)品為HF3223型,。它采用模塊式結(jié)構(gòu)，屬于頻率輸出式集成濕度傳感器,，在55%RH時(shí)的輸出頻率為8750Hz（型值）,，當(dāng)相對(duì)濕度從10%變化到95%時(shí)，輸出頻率就從9560Hz減小到8030Hz,。這種傳感器具有線性度好,、抗干擾能力強(qiáng)、便于配數(shù)字電路或單片機(jī),、價(jià)格低等優(yōu)點(diǎn),。

　　2.3 頻率/溫度輸出式集成濕度傳感器

　　典型產(chǎn)品為HTF3223型。它除具有HF3223的功能以外,，還增加了溫度信號(hào)輸出端,，利用負(fù)溫度系數(shù)（NTC）熱敏電阻作為溫度傳感器。當(dāng)環(huán)境溫度變化時(shí),，其電阻值也相應(yīng)改變并且從NTC端引出,，配上二次儀表即可測(cè)量出溫度值。

　　3 集成濕度傳感器典型產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)

　　集成濕度傳感器的測(cè)量范圍一般可達(dá)到0～100%,。但有的廠家為保證精度指標(biāo)而將測(cè)量范圍限制為10%～95%,。設(shè)計(jì)+5.0V低壓供電的濕度/溫度測(cè)試系統(tǒng)時(shí)，大陸廠家深圳市意賽亞機(jī)電有限公司生產(chǎn)的HSM20,、HSM40傳感模塊,，HSM20的濕敏元件為濕敏電阻、電壓1.0-3.0V輸出,，溫濕度一體,，優(yōu)勢(shì)是成本低廉、互換性好,，但測(cè)試精度為+-5%,，對(duì)一些濕度要求不是很高的設(shè)計(jì)行業(yè)是；其次是HSM40,，采用法國(guó)HS1101電容式傳感元件,。可實(shí)現(xiàn)5-99%RH寬范圍測(cè)量,，精度可達(dá)3%,。電壓線性輸出0.8-3.9V（0-100%RH），尺寸僅為34*22*9MM?，F(xiàn)廣泛被空調(diào)（格力）,、濕度傳感器、濕度變送器行業(yè)所選用,。

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