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北京賽斯維測(cè)控技術(shù)有限公司

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磁敏傳感器及其應(yīng)用

2011-7-6  閱讀(926)

磁敏傳感器,,顧名思義就是感知磁性物體的存在或者磁性強(qiáng)度(在有效范圍內(nèi))這些磁性材料除永磁體外,,還包括順磁材料(鐵、鈷,、鎳及其它們的合金)當(dāng)然也可包括感知通電(直,、交)線包或?qū)Ь€周圍的磁場(chǎng)。

  一,,傳統(tǒng)的磁檢測(cè)中首先被采用的是電感線圈為敏感元件

  特點(diǎn)正是無須在線圈中通電,,一般僅對(duì)運(yùn)動(dòng)中的永磁體或電流載體起敏感作用。后來發(fā)展為用線圈組成振蕩槽路的,。如探雷器,,金屬異物探測(cè)器,測(cè)磁通的磁通計(jì)等. (磁通門,,振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)),。

  二, 霍爾傳感器

  霍爾傳感器是依據(jù)霍爾效應(yīng)制成的器件。

  霍爾效應(yīng):通電的載體在受到垂直于載體平面的外磁場(chǎng)作用時(shí),,則載流子受到洛倫茲力的作用,,并有向兩邊聚集的傾向,由于自由電子的聚集(一邊多一邊必然少)從而形成電勢(shì)差,,在經(jīng)過特殊工藝制備的半導(dǎo)體材料這種效應(yīng)更為顯著。從而形成了霍爾元件,。早期的霍爾效應(yīng)的材料Insb(銻化銦),。為增強(qiáng)對(duì)磁場(chǎng)的敏感度,在材料方面半導(dǎo)體IIIV 元素族都有所應(yīng)用。近年來,,除Insb之外,,有硅襯底的,也有砷化鎵的,?;魻柶骷捎谄涔ぷ鳈C(jī)理的原因都制成全橋路器件,其內(nèi)阻大約都在150Ω~500Ω之間,。對(duì)線性傳感器工作電流大約在2~10mA左右,,一般采用恒流供電法,。

  Insb與硅襯底霍爾器件典型工作電流為10mA,。而砷化鎵典型工作電流為2 mA。作為低弱磁場(chǎng)測(cè)量,,我們希望傳感器自身所需的工作電流越低越好,。(因?yàn)殡娫粗車从写艌?chǎng),就不同程度引進(jìn)誤差,。另外,,目前的傳感器對(duì)溫度很敏感,通的電流大了,,有一個(gè)自身加熱問題,。(溫升)就造成傳感器的零漂。這些方面除外附補(bǔ)償電路外,,在材料方面也在不斷的進(jìn)行改進(jìn),。

  霍爾傳感器主要有兩大類,一類為開關(guān)型器件,,一類為線性霍爾器件,,從結(jié)構(gòu)形式(品種)及用量、產(chǎn)量前者大于后者,?;魻柶骷捻憫?yīng)速度大約在1us 量級(jí)。

  三,,磁阻傳感器

  磁阻傳感器,,磁敏二極管等是繼霍爾傳感器后派生出的另一種磁敏傳感器。采用的半導(dǎo)體材料于霍爾大體相同,。但這種傳感器對(duì)磁場(chǎng)的作用機(jī)理不同,,傳感器內(nèi)載流子運(yùn)動(dòng)方向與被檢磁場(chǎng)在一平面內(nèi),。(順便提醒一點(diǎn),霍爾效應(yīng)于磁阻效應(yīng)是并存的,。在制造霍爾器件時(shí)應(yīng)努力減少磁阻效應(yīng)的影響,,而制造磁阻器件時(shí)努力避免霍爾效應(yīng)(在計(jì)算公式中,互為非線性項(xiàng)),。在磁阻器件應(yīng)用中,,溫度漂移的控制也是主要矛盾,在器件制備方面,,磁阻器件由于與霍爾不同,,因此,早期的產(chǎn)品為單只磁敏電阻,。由于溫度漂移大,,現(xiàn)在多制成單臂(兩只磁敏電阻串聯(lián))主要是為補(bǔ)償溫度漂移。目前也有全橋產(chǎn)品,,但用法(目的)與霍爾器件略有差異,。據(jù)報(bào)導(dǎo)磁阻器件的響應(yīng)速度同霍爾1uS量級(jí)。

  磁阻傳感器由于工作機(jī)理不同于霍爾,,因而供電也不同,,而是采用恒壓源(但也需要一定的電流)供電。當(dāng)后續(xù)電路不同對(duì)供電電源的穩(wěn)定性及內(nèi)部噪聲要求高低有所不同,。

  四,,磁敏器件應(yīng)用的問題之四

  磁敏器件(單元)體積問題:

  在磁敏元件作為檢測(cè)磁場(chǎng)而設(shè)計(jì)和制造的,一般檢測(cè)的概念是:測(cè)量磁場(chǎng)中某一點(diǎn)的磁性,。作為點(diǎn)的定義在幾何學(xué)中是無限小的,。在磁場(chǎng)檢測(cè)中,由于磁場(chǎng)的面積,、體積,、縫隙大小等都是有限面積(尺寸),因此我們希望磁敏元件之面積與被測(cè)磁場(chǎng)面積相比也應(yīng)該是越小越準(zhǔn)確,。在磁場(chǎng)成像的技術(shù)中,,元件體積越小,在相同的面積內(nèi)采集的像素就愈多,。分辨率,、清晰度越高。在表面磁場(chǎng)測(cè)量與多級(jí)磁體的檢測(cè)中,,在磁柵尺中,,必然有如此要求。從磁敏元件工作機(jī)理看,,為提高靈敏度在幾何形狀處于磁場(chǎng)中的幾何尺寸都有相應(yīng)要求,,這與“點(diǎn)”的要求是相矛盾的,。在與國外專家技術(shù)交流中得知,1999年俄羅斯專家說他們制成了體積0 .6mm得探頭(是幾個(gè)研究所合作搞成的),。美國也有相應(yīng)的產(chǎn)品,,售價(jià)約70美元一只。是否是目前zui高水平,,未見其它報(bào)導(dǎo),。

  在二維場(chǎng)和三維場(chǎng)的測(cè)量中探頭的封裝垂直度的要求也有很大的難度。

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