總評
        奧林巴斯半導(dǎo)體自動檢查顯微鏡MX61A支持300mm硅晶圓檢查及分析,。實(shí)現(xiàn)了顯微鏡觀察中所需操作的自動化及電動化,，具有使用1臺顯微鏡即可進(jìn)行檢查及分析的靈活性和擴(kuò)展性。MX61A采用的UIS 2萬能無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),，提高了缺陷檢測能力,。高品質(zhì)的UIS 2物鏡實(shí)現(xiàn)忠實(shí)的色彩再現(xiàn)，暗視野觀察時(shí)的亮度也提高至該公司原產(chǎn)品的4倍左右,。通過采用新方式的自動對焦,；（AF）實(shí)現(xiàn)了檢查及分析作業(yè)的效率化,。配備有與物鏡的倍率和觀察方法切換產(chǎn)生聯(lián)動的、用于調(diào)節(jié)出*亮度及對比度的自動調(diào)光功能,。此外,，AF方面采用了對焦精度及速度更出色的多點(diǎn)對焦方式，從而提高了對焦時(shí)的穩(wěn)定性,。具有電動載物臺,、數(shù)碼相機(jī)及深紫外線觀察系統(tǒng)等多種擴(kuò)展性系統(tǒng)配置。

對應(yīng)檢查需求的搭配組合

        靈活地應(yīng)對不斷變化的檢查需求,，這就是檢查引擎（Inspection-Engine）,。
        作為核心對MX61A系統(tǒng)全體進(jìn)行控制的是操作單元。預(yù)先設(shè)置的觀察條件可由操作員（觀察者）隨時(shí)調(diào)用,，也可以多人共享,。可以選擇適應(yīng)了使用環(huán)境的菜單的操作單元和對應(yīng)各種觀察方法的自動對焦單元,，提供了更高水準(zhǔn)的檢查環(huán)境,。
        

                                               操作單元“OPERATOR（操作員）”操作畫面

適應(yīng)使用環(huán)境、可以分開使用的操作單元

        操作單元備有三個操作畫面,，觀察者高效率的操作顯微鏡,。

    ·   網(wǎng)羅觀察的基本操作的“OPERATOR（操作員）”畫面 
    ·   更高級操作的“ENGINEER（工程師）”畫面
    ·   zui多可設(shè)置六個觀察條件，可隨時(shí)調(diào)用復(fù)雜條件設(shè)置的“FUNCTION（功能）”畫面

設(shè)置zui合適的觀察條件

        與物鏡選擇,、觀察方法切換連動的亮度光圈（AS）,，以及物鏡之間的同一焦點(diǎn)校正、DIC延遲調(diào)節(jié)等均可通過操作單元觸摸面板進(jìn)行設(shè)置,。操作單元有三個“USER（用戶）”設(shè)置,，可由多位操作員（觀察者）共享。

可以觸摸屏操作的手控開關(guān)
        配備了觸摸屏操作的手控開關(guān),，可以在檢查時(shí)執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作,。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的zui合適的觀察影像,。自動對焦的追蹤,、單次拍攝的切換、對焦的細(xì)微調(diào)節(jié),、DIC延遲調(diào)節(jié),、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時(shí)的載物臺退出均可以執(zhí)行。

強(qiáng)大的缺陷檢查能力

        采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)（UIS2）,，特別增強(qiáng)了明視場,、暗視場的性能，從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力,。明視場圖像的色溫*化,，實(shí)現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn),，暗視場圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產(chǎn)品比較）。

自動調(diào)節(jié)*亮度

        物鏡選擇和觀察方法切換連動,，自動地調(diào)節(jié)亮度光圈,。提高了觀察速度并減輕疲勞。

抑制影像中心偏移的UIS2物鏡

        在觀察視場狹窄的數(shù)碼影像中,，為了不讓觀察對象偏離視場,，高倍率物鏡的偏心精度提高了2倍。極大地減少了切換物鏡時(shí)產(chǎn)生的圖像中心的偏移,。

        在深紫外線到可視,、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品，與各種觀察單元組合,，可以在一臺顯微鏡上進(jìn)行明視場,、暗視場、微分干涉,、熒光、近紅外線,、深紫外線等觀察,。
        觀察方法的切換非常簡單，只要從明視場,、暗視場,、選件鏡子單元三個位置選擇就可以。

實(shí)現(xiàn)對人和環(huán)境都沒有危害的自動化

        符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關(guān)安全的基準(zhǔn)）,，S8-0705（有關(guān)人體工程學(xué)的基準(zhǔn)）和CE標(biāo)識（歐洲強(qiáng)制性認(rèn)證）等的標(biāo)準(zhǔn),。符合人體工程學(xué)和安全對策等，高水準(zhǔn)的確保了可靠性,。

        備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒,。可以根據(jù)用途選擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的,、變化范圍大的MX-SWETTR型號,，或是目視和拍攝影像可同時(shí)觀察的U-SWETTR-5型號。

        傾斜觀察筒傾斜角／光路分割

全自動半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61A 規(guī)格