石英管微波等離子體發(fā)生裝置  微波等離子體分析儀  等離子體發(fā)生裝置  

型號:BXS01-HF19-FM

該設(shè)備利用頻率為2.45GHz的微波激勵稀薄氣體放電,，從而產(chǎn)生等離子體,。真空反應(yīng)室為Φ50mm的石英管腔體。放置樣品的基片臺可以方便地在反應(yīng)腔體內(nèi)上下升降調(diào)節(jié),。

基片臺位于石英管反應(yīng)腔體的中心,，該基片臺除了基本的上下升降功能外，同時具有水冷控溫的功能,，雙層水冷支架與基片臺可方便地拆卸與維護(hù),，即使樣品以不同的形態(tài)（片狀,、塊狀、粉末狀等）出現(xiàn),，更換或改裝基片臺也十分方便,。

石英管反應(yīng)腔兩端有雙層水冷套作降溫保護(hù)，端口以不銹鋼部件固定并密封（加橡膠）石英腔體,，以確保反應(yīng)腔的安全穩(wěn)定工作,。

該設(shè)備的真空系統(tǒng)采用2XZ-2型旋片真空泵，極限真空6×10－1帕,，抽速2升/秒,，額定轉(zhuǎn)速1400轉(zhuǎn)/分，機(jī)械泵與真空室之間設(shè)置有電磁閥和高真空隔膜閥,，旁路管道設(shè)置另一隔斷閥（高真空微調(diào)閥）,，以便于真空系統(tǒng)運(yùn)行安全及工作時反應(yīng)氣體壓強(qiáng)的靈活控制。真空密封采用金屬和橡膠密封,，通常：相對不動接口采用金屬銅密封,，相對可動接口采用橡膠密封。

真空測量采用數(shù)字壓阻式真空計,，用來測量反應(yīng)腔內(nèi)的工作氣壓,。

主要電氣配置：

1) 真空泵：2XZ-2型旋片真空泵采用單相220V交流電源，對實驗室電源無特殊要求,。

2) 磁控管：采用工業(yè)上通用的磁控管,，該磁控管具有使用壽命長、可靠性高的特點(diǎn),，維護(hù)方便,。

3) 真空計：采用壓阻式真空計，用于測量工作時的工作氣壓,。

4) 溫控儀：用于冷卻水循環(huán)系統(tǒng)中的制冷及水溫控制。

5) 500W微波功率源：通過調(diào)節(jié)磁控管陽極電壓的方法調(diào)節(jié)微波功率的輸出,，利用簡單,、可靠、易維護(hù)的電路實現(xiàn)微波功率的連續(xù)可調(diào)輸出,。

6) 冷卻水：裝置自帶循環(huán)冷卻水,，對實驗室無水源要求，既節(jié)水又方便,。

二,、技術(shù)參數(shù)及特性1. 反應(yīng)室工作壓強(qiáng)：幾百帕～十千帕

2. 反應(yīng)室極限壓強(qiáng): 6×10－1帕3. 反應(yīng)室尺寸： Φ50mm

4. 微波功率： 0～500W5. 基片溫控： 200～1000℃

外形尺寸 1.4*1.5*0.6立方米（mm）

測量范圍 0.500W（Ω）

       北京北信未來電子科技中心

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：王華

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