德國海德漢公司是世界上Z早制造光刻產(chǎn)品和機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)的公司,在光刻和數(shù)控系統(tǒng)制造領(lǐng)域,,海德漢擁有多項(xiàng)技術(shù),,光柵尺的分辨率高達(dá)1納米,光柵尺的精度高達(dá)?.1微米,。
*德國海德漢HEIDENHIAN敞開式直線光柵尺
德國海德漢公司是世界上zui早制造光刻產(chǎn)品和機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)的公司,,在光刻和數(shù)控系統(tǒng)制造領(lǐng)域,海德漢擁有多項(xiàng)技術(shù),,公司在這一領(lǐng)域的創(chuàng)新和研發(fā)推動了世界光刻和數(shù)控系統(tǒng)制造技術(shù)的不斷向前發(fā)展,。光柵尺的分辨率高達(dá)1納米,光柵尺的精度高達(dá)±0.1微米,;角度編碼器精度高達(dá)±0.2角秒,,式角度編碼器位數(shù)為27位;高檔數(shù)控系統(tǒng)具有優(yōu)良高速和5軸功能,。產(chǎn)品具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,,包括:機(jī)床行業(yè)、三坐標(biāo)測量機(jī),、精密轉(zhuǎn)臺,、工廠自動化、電機(jī)行業(yè),、電子制造設(shè),、備印刷行業(yè)、造紙行業(yè),、 水利行業(yè),、紡織行業(yè)、天文望遠(yuǎn)鏡,、航空和航天工業(yè)等,。
LIP敞開式直線光柵尺精度優(yōu)于±1 μm
*德國海德漢HEIDENHIAN敞開式直線光柵尺
LIP敞開式直線光柵尺的特點(diǎn)是測量步距小,,精度高。其測量光柵采用基于玻璃或玻璃陶瓷的相位光柵,。
LIP型光柵尺主要用于:
測量機(jī)和比較儀
測量顯微鏡
超精密機(jī)床,,例如加工光學(xué)元件的金剛石車床,加工磁盤的端面車床和加工鐵氧體元件的磨床
半導(dǎo)體工業(yè)的測量和生產(chǎn)
電子工業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
*德國海德漢HEIDENHIAN敞開式直線光柵尺
LIP300 系列
分辨率高,,測量步距可達(dá)1納米
信號周期極小,,因此重復(fù)性*
采用Zerodur玻璃陶瓷測量光柵,因此它具有確定的溫度特性
LIP400 系列
尺寸緊湊測量步距達(dá)0.005μm
可提供多種熱膨脹系數(shù)的光柵尺
LI[P500系列
測量長度可達(dá)1440mm
測量步距達(dá)0.05 μm
LIF,,LIDA敞開式直線光柵尺精度為±3μm
LIF 和 LIDA 光柵尺的特點(diǎn)是易于安裝,。其典型應(yīng)用包括:
坐標(biāo)測量機(jī)
檢測機(jī)
PCB 板組裝機(jī)
PCB 板鉆孔機(jī)
精密操作設(shè)備
測量直線電機(jī)的位置和速度
用SUPRADUR工藝在玻璃基體可知的相位光柵作為LIF直線光柵尺的測量光柵。其信號周期小,,因此重復(fù)性好,。
*德國海德漢HEIDENHIAN敞開式直線光柵尺
LIDA 直線光柵尺采用AURODUR鋼帶光柵作測量光柵,。它適合于高速轉(zhuǎn)動測量,zui高速度可達(dá)8m/s.由于其特殊的掃描方法使它承受光柵尺上的污染和安裝面不平的能力較強(qiáng),。
LIP400 系列
用HEIDENHAINPRECIMET彈性膠帶殼快速方便地固定光柵尺
由于采用SUPRADUR刻線技術(shù)使它對污染不敏感
重復(fù)性好
具有確定溫度特性
安裝速度快
用限位開關(guān)和回零軌檢測位置