勻膠機其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān),。勻膠機是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液,，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,，膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。
從其原理來說,，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)：
1,、旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大,，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的,。
2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
真空泵一定要無油的,，壓力標定準確,，因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低,，會導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。
3,、材質(zhì)的選擇
對于半導體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),，因為這種材質(zhì)的成本很低,，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形,。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,，將會導致旋涂時，時高時低的顛簸狀態(tài),。自然無法得到好的旋涂效果,。
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