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半導(dǎo)體膜厚測試儀-OPTM 

R&D ,！ QC ,！ 植入設(shè)備,！ 都可簡單實現(xiàn)高精度測量！

測量目標(biāo)膜的絕對反射率,，實現(xiàn)高精度膜厚和光學(xué)常數(shù)測試,！ （分光干渉法）

半導(dǎo)體膜厚測試儀特 長　Features

·膜厚測量中必要的功能集中于頭部

·通過顯微分光高精度測量絕對反射率（多層膜厚、光學(xué)常數(shù)）

·1點只需不到1秒的高速tact

·實現(xiàn)了顯微下廣測量波長范圍的光學(xué)系（紫外～近紅外）

·通過區(qū)域傳感器控制的安全構(gòu)造

·搭載可私人定制測量順序的強大功能

·即便是沒有經(jīng)驗的人也可輕松解析光學(xué)常數(shù)

·各種私人定制對應(yīng)（固定平臺,，有嵌入式測試頭式樣）

測量項目　Measurement item

·絕對反射率測量

·膜厚解析

·光學(xué)常數(shù)解析（n：折射率,、ｋ：消光系數(shù)）

構(gòu)成圖

式 樣Specifications

※ 上述式樣是帶有自動XY平臺。

※ release 時期 是OP-A1在2016年6月末,、OP-A2,、OP-A3預(yù)定2016年9月。

＊ 膜厚范圍是SiO2換算,。