目錄:先鋒科技(香港)股份有限公司>>光度色度>>膜厚測試產(chǎn)品>> 半導(dǎo)體膜厚測試儀
測量模式 | 直流 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
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價格區(qū)間 | 100萬-200萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,綜合 |
半導(dǎo)體膜厚測試儀-OPTM
R&D ,! QC ,! 植入設(shè)備,! 都可簡單實現(xiàn)高精度測量!
測量目標(biāo)膜的絕對反射率,,實現(xiàn)高精度膜厚和光學(xué)常數(shù)測試,! (分光干渉法)
半導(dǎo)體膜厚測試儀特 長 Features
·膜厚測量中必要的功能集中于頭部
·通過顯微分光高精度測量絕對反射率(多層膜厚、光學(xué)常數(shù))
·1點只需不到1秒的高速tact
·實現(xiàn)了顯微下廣測量波長范圍的光學(xué)系(紫外~近紅外)
·通過區(qū)域傳感器控制的安全構(gòu)造
·搭載可私人定制測量順序的強大功能
·即便是沒有經(jīng)驗的人也可輕松解析光學(xué)常數(shù)
·各種私人定制對應(yīng)(固定平臺,,有嵌入式測試頭式樣)
測量項目 Measurement item
·絕對反射率測量
·膜厚解析
·光學(xué)常數(shù)解析(n:折射率,、k:消光系數(shù))
構(gòu)成圖
式 樣Specifications
※ 上述式樣是帶有自動XY平臺。
※ release 時期 是OP-A1在2016年6月末,、OP-A2,、OP-A3預(yù)定2016年9月。
* 膜厚范圍是SiO2換算,。
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