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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
恒溫真空勻膠機/控溫型勻膠機/真空勻膠烤膠機Spin Coater
恒溫真空勻膠機烤膠機Spin Coater 產(chǎn)品簡介:
主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,,適用于硅片,,晶片,玻璃,,陶瓷等制版表面涂覆工藝,。可在科研,,教育,,生產(chǎn)中應(yīng)用。
可以完成有機物的勻膠,。(攝氏溫度200度以下),。
完成勻膠時,還可以完成烤膠,。
采用空間式加熱的控溫型勻膠機,,可以進行邊加熱邊旋轉(zhuǎn)的控溫勻膠操作,對提高膠體流動性,,加速溶劑揮發(fā),,勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。
控溫精度高,、重復(fù)性好,,技術(shù)*,性能優(yōu)良,。
標配4英寸真空吸盤,,加熱速度快,控溫精度高,。不同尺寸基片為保證緊密接觸加熱轉(zhuǎn)盤,,可定制設(shè)計更換。
恒溫真空勻膠機烤膠機Spin Coater 特性:
1,、空間式恒溫加熱,,室溫-200℃。精度0.1℃
2,、可以完成有機物的勻膠。(攝氏溫度200度以下)
完成勻膠時,還可以完成烤膠,。
3,、可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程。
4,、每個涂敷工藝過程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài),;
5、可以控制加速度
6,、平穩(wěn)轉(zhuǎn)速,,預(yù)設(shè)值與實際值誤差率1‰。有視頻為證(如想觀看視頻,,請聯(lián)系我)
7,、端跳1mm的±2.5%
主要特點:
高精度多程序控制器:
可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程。
每個涂敷工藝過程可以設(shè)置25步不同的勻速度狀態(tài),;
加速度及負加速度可自主控制,。
液晶顯示屏可以實時顯示:
1. 第N個涂敷工藝過程
2. 所處工作段
3. 真空吸片狀態(tài)。
4. 設(shè)置時間,;及實時運行時間,。
5. 設(shè)置速度;及實時速度狀態(tài),。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇,。
人機交互式對話,簡潔,,明了,。
儀器真空吸片系統(tǒng)更安全:
旋涂儀安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度,,
必須在安全的真空度下,,電機啟動,運行,。保障可靠吸片,,不飛片。
頻伺服電機,,轉(zhuǎn)速精度更高:
300 - 10000轉(zhuǎn)/分,,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 %
轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
不銹鋼機殼 聚四氟(塑料王)材質(zhì)工作腔
不銹鋼機殼,外表面潔凈光亮,。美觀,,方便清洗。
溫度控制系統(tǒng) :
工作腔內(nèi)板式加熱體,,加熱均勻,。
控制溫度范圍:室溫--攝氏溫度200度,。
聚四氟(塑料王)材質(zhì)工作腔
技術(shù)參數(shù):
單相交流電源:220V.50Hz
電機功率:150W
旋轉(zhuǎn)真空吸盤直徑:4英寸(102mm,標準配置)
可選擇配置:基片直徑10—200mm可接受訂貨,。
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000轉(zhuǎn)/分,。
可設(shè)定時間:1---9999秒。
控制溫度:室溫--攝氏溫度200度,。
控制精度:1攝氏度
標準包裝:
結(jié)構(gòu)尺寸:260mm寬x 350mm深x 260 mm高,
可選配件:
1,、60升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤
3,、70升/分無油真空泵