1,、非晶態(tài)合金傳感器
非晶態(tài)合金是70年代末發(fā)展起來的一種新型材料，具有非常*的微觀結(jié)構(gòu)，其原子排列無規(guī)則,，即長程無序；而鄰近原子的數(shù)目和排列有規(guī)則,，即短程有序,；它沒有晶態(tài)合金中常見的晶界缺陷,，但整體上又有很高的缺陷密度，達(dá)10/以上,。這種結(jié)構(gòu)使得非晶態(tài)合金具有許多優(yōu)異特性,，而成為新一代功能材料，在電子,、電力和機(jī)械等領(lǐng)域得到日益廣泛的應(yīng)用,。
2、固態(tài)圖象傳感器（CCD）
其工作過程是：首先由光學(xué)系統(tǒng)將被測物體成象在CCD的受光面上,，受光面下的許多光敏單元形成了許多象素點(diǎn),，這些象素點(diǎn)將投射到它的光強(qiáng)轉(zhuǎn)換成電荷信號并存儲。然后在時鐘脈沖信號控制下,，將反映光象的被存儲的電荷信號讀取并順序輸出,，從而完成了從光圖象到電信號的轉(zhuǎn)化過程。CCD傳感器由MOS電容組成,，金屬和Si襯底是電容器兩極,，SiO2為介質(zhì)。在金屬柵上加正向電壓UG,，Si中的電子被吸引到襯底和SiO2的交界面上,，空穴被排斥，于是在電極下形成一個表面帶負(fù)電荷的耗盡區(qū),。
3,、光纖傳感器
光纖傳感器以光學(xué)量轉(zhuǎn)換為基礎(chǔ)，以光信號為變換和傳輸?shù)妮d體,，利用光導(dǎo)纖維輸送光信號的傳感器,。按光纖的作用，光纖傳感器可分為功能型和傳光型兩種,。功能型光纖傳感器既起著傳輸光信號作用,，又可作敏感元件；傳光型光纖則僅起傳輸光信號作用,。
4,、智能傳感器
到目前為止，還尚未有統(tǒng)一的智能傳感器定義,。一般認(rèn)為：傳感器與微處理器結(jié)合并賦予人工智能的功能,，又兼有信息檢測與信息處理功能的傳感器就是智能傳感器。
