1、非晶態(tài)合金傳感器
非晶態(tài)合金是70年代末發(fā)展起來(lái)的一種新型材料,,具有非常*的微觀結(jié)構(gòu),其原子排列無(wú)規(guī)則,即長(zhǎng)程無(wú)序,;而鄰近原子的數(shù)目和排列有規(guī)則,即短程有序,;它沒(méi)有晶態(tài)合金中常見(jiàn)的晶界缺陷,,但整體上又有很高的缺陷密度,達(dá)10/以上,。這種結(jié)構(gòu)使得非晶態(tài)合金具有許多優(yōu)異特性,,而成為新一代功能材料,在電子,、電力和機(jī)械等領(lǐng)域得到日益廣泛的應(yīng)用,。
2、固態(tài)圖象傳感器(CCD)
其工作過(guò)程是:首先由光學(xué)系統(tǒng)將被測(cè)物體成象在CCD的受光面上,,受光面下的許多光敏單元形成了許多象素點(diǎn),,這些象素點(diǎn)將投射到它的光強(qiáng)轉(zhuǎn)換成電荷信號(hào)并存儲(chǔ)。然后在時(shí)鐘脈沖信號(hào)控制下,,將反映光象的被存儲(chǔ)的電荷信號(hào)讀取并順序輸出,,從而完成了從光圖象到電信號(hào)的轉(zhuǎn)化過(guò)程。CCD傳感器由MOS電容組成,,金屬和Si襯底是電容器兩極,,SiO2為介質(zhì)。在金屬柵上加正向電壓UG,,Si中的電子被吸引到襯底和SiO2的交界面上,,空穴被排斥,于是在電極下形成一個(gè)表面帶負(fù)電荷的耗盡區(qū)。
3,、光纖傳感器
光纖傳感器以光學(xué)量轉(zhuǎn)換為基礎(chǔ),,以光信號(hào)為變換和傳輸?shù)妮d體,利用光導(dǎo)纖維輸送光信號(hào)的傳感器,。按光纖的作用,,光纖傳感器可分為功能型和傳光型兩種。功能型光纖傳感器既起著傳輸光信號(hào)作用,,又可作敏感元件,;傳光型光纖則僅起傳輸光信號(hào)作用。
4,、智能傳感器
到目前為止,,還尚未有統(tǒng)一的智能傳感器定義。一般認(rèn)為:傳感器與微處理器結(jié)合并賦予人工智能的功能,,又兼有信息檢測(cè)與信息處理功能的傳感器就是智能傳感器,。