日本堀場HORIBA痕量氣體在線分析儀

GA-370 用于空氣分離和半導體工廠生產的高純氣體的質量管理,，為氣體生產設施的質量管理提供連續(xù)的，高靈敏度及高準確度的微量雜質（CO,CO2,CH4）監(jiān)測,。

1. 高靈敏度的監(jiān)測

?       采用交替流動調制型雙光束非分散紅外吸收法（NDIR）,，零點極其穩(wěn)定，無漂移,。

?       小檢測限（MDL）為10 ppb,，可支持需要高精度測量的應用。

GA-370痕量氣體分析儀內置的紅外光源的光束通過氣室到達檢測器,。在測量過程中,，電磁閥交替地將樣氣和參比氣體引入到分析儀的測量氣室中。

與氣室中充滿參比氣體時的情況相比,，當氣室中充滿樣氣的時候,，樣氣中的CO、CO2以及CH4會引起到達檢測器的光強度的不同。檢測器檢測到的兩種氣體對光的吸收差異,，使檢測器薄膜發(fā)生偏轉而振動,。采用這種測量技術能省去光學斬波器和光學調整的需要，消除零點漂移,，提高了靈敏度,。

二．高純氣體中微量雜質的監(jiān)測

?       可應用于典型平衡氣體如：氮氣，氧氣,，氦氣,，氬氣，氫氣和空氣,。

       如有需要用于測量其他平衡氣的情況, 請聯(lián)系我司,。

三．操作簡便，免維護

?     操作簡便的屏幕菜單簡化了分析儀的校準和測量等各項操作,。

?     無需光學調整,。

?     觸摸式彩色液晶顯示屏（LCD）能夠以圖表方式顯示歷史數(shù)據(jù)。

四．典型應用

一般情況下,，工業(yè)氣體如氧氣和氮氣,，是由空氣分離設備制造的。將除去水分（H20）和二氧化碳（CO2）的原料空氣通入分離裝置,，分離裝置利用氮氣（N2）,、氬氣（Ar）和氧氣（O2）三者沸點不同分離出不同氣體。同樣地,，空氣分離設備也能制造其他稀有或惰性氣體,，如氫氣（H2）和氦氣（He）。

HORIBA 的GA-370痕量氣體分析儀能有效測量分離后氣體中的雜質,，保證了氣體質量,。

五．在線分析儀GA-370技術參數(shù):

型號： GA-370

測量組分： CO, CO2 和 CH4

高純氣體種類： N2，O2,，He,  Ar,  H2,  Air

測量組分數(shù)： 1-2種（由平衡氣體種類決定）

測量原理：交替流動調制型雙光束非分散紅外吸收法（NDIR）

量程：0～1/2/5/10 ppm

檢測下限：10 ppb

零點漂移：≤±0.02 ppm/天, ≤±0.03 ppm/周

量程漂移：≤±2% F.S./天, ≤±3% F.S./周

響應時間：≤180s

外形尺寸和重量：430(W)×221(H)×555(D) mm (不包括突出部分)，約18 kg

電源：100～240 V AC,，≤±10% (大電壓：250 V AC)

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