等離子清洗機(jī)作為一種微觀(guān)固體表面的處理設(shè)設(shè)備,，是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),，也叫做物質(zhì)的第四態(tài),。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括：離子,、電子,、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）,、光子等,。等離子清洗機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的,。

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體,、鍍膜工藝、PCB制程,、PCB制程,、元器件封裝前、COG前,、真空電子,、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料,、橡膠,、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。

該清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉(cāng)體,，采用了新型的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù),，使其有效容積增大，不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,，且控制頻率穩(wěn)定,。真空倉(cāng)門(mén)有觀(guān)察窗，可直觀(guān)物體的處理過(guò)程,，其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機(jī)箱內(nèi),，即減少了空間的占用，更便于操作和放置,，同時(shí)與大型清洗機(jī)相比較,，從檢測(cè)功能與控制功能的設(shè)置上均可一個(gè)面板上操作，特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn) 樣品清洗 和教學(xué),。