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真空泵的概念和分類(lèi)

閱讀:3615      發(fā)布時(shí)間:2010-1-14
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    真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡庙氂星凹?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金,、化工,、食品,、電子鍍膜等行業(yè)。

    我國(guó)生產(chǎn)真空泵的廠家很多,,全部真空泵的年銷(xiāo)售額大約在1,、5億元左右,僅相當(dāng)于美國(guó)Kinney公司一家真空泵的年銷(xiāo)售額,。通過(guò)對(duì)真空泵市場(chǎng)的分析我們可以看出,,各類(lèi)真空泵的市場(chǎng)及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國(guó)真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ),,國(guó)產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過(guò)驗(yàn)證,,有些泵還出口國(guó)外,得到國(guó)外用戶(hù)的認(rèn)可并受到好評(píng),,應(yīng)該說(shuō)我國(guó)真空泵制造業(yè)在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)仍然有著巨大的發(fā)展空間,。

    1、液環(huán)泵

    雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,,但在我國(guó)的石油,、化工、電力,、輕紡,、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場(chǎng),。在國(guó)外,,液環(huán)泵的銷(xiāo)售額占全部真空泵市場(chǎng)的14%,僅次于干泵,,所以Nash,、Seimems和Kinney等公司都在我國(guó)投資建廠或建立銷(xiāo)售網(wǎng)絡(luò),不斷擴(kuò)大在我國(guó)的*,。由于液環(huán)泵大部分是鑄件,,加工要求也不高,,屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品,,所以國(guó)產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì),,縮小體積,,減輕重量,提率,,降低能耗,。

    2、滑閥泵

    由于滑閥泵比較耐用,、可靠,,國(guó)內(nèi)外各種真空爐,、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵,,但是滑閥泵鑄件重,,加工工作量較大,所以國(guó)外各真空廠都在中國(guó)尋找合作伙伴,。為了使國(guó)產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入市場(chǎng),,必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲,杜絕噴油和漏油,,提高滑閥泵長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性,。

3、直聯(lián)旋片泵

    隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,,直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大,。由于這種泵數(shù)量很多,加工裝配工作量很大,,價(jià)格又很低,,所以有的國(guó)外真空廠商在中國(guó)建立專(zhuān)業(yè)廠。國(guó)產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān),,價(jià)格又遠(yuǎn)比國(guó)外的泵便宜,,所以國(guó)產(chǎn)泵仍然有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題,,確保直聯(lián)泵在高速,、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠,同時(shí)還要進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力,。

    4,、羅茨泵

    從國(guó)外羅茨泵生產(chǎn)情況來(lái)看,國(guó)外幾家大公司,,如Leybold,、Balzers、Alcal,、Edwards和ULVAC,,他們各家羅茨泵的銷(xiāo)售額占羅茨泵銷(xiāo)售額的比例都沒(méi)超過(guò)5%,,這5家總計(jì)才20%,,羅茨泵產(chǎn)量不大,但國(guó)外羅茨泵的價(jià)格遠(yuǎn)比國(guó)產(chǎn)泵要高得多,。目前,,國(guó)內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),,為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,所以國(guó)產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入市場(chǎng),,這樣就必須進(jìn)一步降低國(guó)產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲,,*解決軸封漏油問(wèn)題,改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量,,提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度,。另外,還要考慮到有些國(guó)家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,,更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性,。

    目前,國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快,,技術(shù)上已經(jīng)成熟,。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,,從而使壓縮熱得平衡,,所以這種泵可以直排大氣。為了滿(mǎn)足不同極限真空度的要求,,這種泵可以串聯(lián)使用,,一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵,所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí),。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì),,實(shí)際上也是屬于干泵。目前,,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油,、化工、塑料,、農(nóng)藥,、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡。

    5,、分子泵

    分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵,。

    由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,,稱(chēng)之為低溫分子泵,,水蒸汽被低溫板捕獲,,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量,。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè),、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn),。首先,,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開(kāi)發(fā)各種復(fù)合分子泵,、牽引泵和低溫分子泵,,以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。

    6,、干泵

    國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng),,其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè),、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿(mǎn)足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,,國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵,、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵,、渦旋式真空泵,、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,,抽速?gòu)?0m3/h~500m3/h,。據(jù)統(tǒng)計(jì),目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口,,其價(jià)格十分昂貴。所以,,我國(guó)應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā)干泵,,使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。
 

 

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