真空泵的種類有很多,，以下主要為您介紹的是水環(huán)真空泵、羅茨泵及旋片泵的工作原理：
水環(huán)真空泵工作原理
水環(huán)真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,，串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機,，稱為水環(huán)式壓縮機,，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力,。
水環(huán)泵zui初用作自吸水泵,，而后逐漸用于石油,、化工、機械,、礦山,、輕工,、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門,。在工業(yè)生產的許多工藝過程中，如真空過濾,、真空引水,、真空送料、真空蒸發(fā),、真空濃縮,、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到廣泛的應用,。由于真空應用技術的飛躍發(fā)展,，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,，故可抽除易燃,、易爆的氣體，此外還可抽除含塵,、含水的氣體,，因此，水環(huán)泵應用日益增多,。
在泵體中裝有適量的水作為工作液,。當葉輪按圖中順時針方向旋轉時，水被葉輪拋向四周,，由于離心力的作用,，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內表面恰好與葉輪輪轂相切,，水環(huán)的上部內表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環(huán)內有一定的插入深度),。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔,。如果以葉輪的下部0°為起點,，那么葉輪在旋轉前180°時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通,，此時氣體被吸入,，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當葉輪繼續(xù)旋轉時，小腔由大變小,，使氣體被壓縮;當小腔與排氣口相通時,，氣體便被排出泵外,。
綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣,、壓縮和排氣的,，因此它屬于變容式真空泵。
旋片式真空泵工作原理
旋片式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機械真空泵,。其工作壓強范圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵,。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵,。它已廣泛地應用于冶金,、機械、軍工,、電子,、化工、輕工,、石油及醫(yī)藥等生產和科研部門,。
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置,，還可以抽除一定量的可凝性氣體,。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的,、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體,。
旋片泵是真空技術中zui基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵,。旋片泵有單級和雙級兩種,。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯(lián)起來,。一般多做成雙級的,，以獲得較高的真空度。
旋片泵的抽速與入口壓強的關系規(guī)定如下：在入口壓強為1333Pa,、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下,，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%,。
旋片泵主要由泵體,、轉子、旋片,、端蓋,、彈簧等組成。在旋片泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切(二者有很小的間隙),，轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片,。旋轉時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸,，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動,。
兩個旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A,、B,、C三部分，當轉子按箭頭方向旋轉時,，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,，正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,，正處于壓縮過程,。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹)，氣體壓強降低,，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強,，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時,，即轉至空間B的位置,，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小,，zui后與排氣口相通,。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開,，氣體穿過油箱內的油層排至大氣中,。由泵的連續(xù)運轉，達到連續(xù)抽氣的目的,。如果排出的氣體通過氣道而轉入另一級(低真空級),，由低真空級抽走，再經低真空級壓縮后排至大氣中,，即組成了雙級泵,。這時總的壓縮比由兩級來負擔，因而提高了極限真空度,。
羅茨泵的工作原理
羅茨泵在泵腔內,，有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動,。在轉子之間,，轉子與泵殼內壁之間,，保持有一定的間隙，可以實現(xiàn)高轉速運行,。由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵,，通常壓縮比很低，故高,、中真空泵需要前級泵,。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空,。為了提高泵的極限真空度,，可將羅茨泵串聯(lián)使用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似,。由于轉子的不斷旋轉,，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出,。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹,。
但當轉子頂部轉過排氣口邊緣,，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高,，則有一部分氣體返沖到空間v0中去,，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續(xù)轉動時,，氣體排出泵外,。
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