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中級(jí)會(huì)員 | 第20年

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氣體傳感器的工作原理與新技術(shù)發(fā)展

時(shí)間：2010/4/9閱讀：3084
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聲表面波（SAW）式氣體傳感器
SAW氣體傳感器制作在壓電材料的襯底上,，一端的表面為輸入傳感器，另一端為輸出傳感器,。兩者之間的區(qū)域淀積了能吸附VOC的聚合物膜,。被吸附的分子增加了傳感器的質(zhì)量，使得聲波在材料表面上的傳播速度或頻率發(fā)生變化,，通過測(cè)量聲波的速度或頻率來測(cè)量氣體濃度,，主要?dú)饷舨牧嫌芯郛惗∠⒎鄱嘣嫉?，用來測(cè)量苯乙烯和甲苯等有機(jī)蒸汽,。其優(yōu)勢(shì)在于選擇性高，靈敏度高,，在很寬的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定,，對(duì)濕度響應(yīng)低和良好的可重復(fù)性。SAW傳感器輸出為準(zhǔn)數(shù)字信號(hào),，因此可簡(jiǎn)便地與微處理器接口,。此外，SAW傳感器采用半導(dǎo)體平面工藝,，易于將敏感器與相配的電子器件結(jié)合在一起,，實(shí)現(xiàn)微型化、集成化,，從而降低測(cè)量成本,。W石英振子式氣體傳感器
石英振子微秤（QCM）由直徑為數(shù)微米的石英振動(dòng)盤和制作在盤兩邊的電極構(gòu)成。當(dāng)振蕩信號(hào)加在器件上時(shí),，器件會(huì)在它的特征頻率（1～30MHz）發(fā)生共振,。振動(dòng)盤上淀積了有機(jī)聚合物，聚合物吸附氣體后,，使器件質(zhì)量增加,，從而引起石英振子的共振頻率降低，通過測(cè)定共振頻率的變化來識(shí)別氣體,。
高分子氣體傳感器,，對(duì)特定氣體分子具有靈敏度高，選擇性好,，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，可在常溫下使用，補(bǔ)充其它氣體傳感器的不足,，超聲波氣體傳感器發(fā)展前景良好,。

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