 |
邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
12
聯(lián)系電話
|
邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
聯(lián)系電話
閱讀：338 發(fā)布時間：2020/10/10
1,、按照設備操作方法規(guī)范使用設備,；（如相關設備使用文檔資料遺 失可聯(lián)系我司售后工程師。） 2,、留意實驗室電壓是否穩(wěn)定,，電壓不穩(wěn)可能會導致設備保險絲熔斷 以及射頻燈源損壞； 3,、定期清潔真空腔內壁,，以免內壁上的污染物積累成為污染源； （真空腔內壁清潔方法可參見標準實驗室玻璃器皿清潔方式,，如： 可用無塵布/無塵紙蘸一點酒精,、丙酮或異丙醇輕輕擦拭內壁表面。 如果用標準的實驗室玻璃器皿清洗方法不能去除污染物和污染物影 響等離子體實驗時,，等離子體腔室可能需要更換,。） 4,、平時注意真空泵-等離子腔體尾部的管路連接件以及三通閥與艙 門的接口處是否松動，如有松動請及時擰緊,。 5,、不建議將等離子和真空泵連續(xù)運行時間超過 1 小時的處理，且在 處理完畢后,，設備的主電源應關閉,，以防止過熱和可能的損壞； 6,、配套油泵泵浦系統(tǒng)留意泵油顏色和油位變化,，并及時添加和更換 泵油；配套干泵泵浦系統(tǒng)若實驗室濕度高需要定期排水汽,，使用時 間達到 5000 小時建議做一次維護保養(yǎng),； 7、當真空腔室內處于低壓狀態(tài)時,，不要強行打開前蓋艙門,，因為這 會損害真空腔室。 8,、請勿將輸入電流要求超過 7 安培的真空泵電源線插頭接入等離子 清洗機后部真空泵電源接口,；
