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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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閱讀：244 發(fā)布時(shí)間：2020/09/22
恩科優(yōu)光刻機(jī)分為半自動(dòng)和全自動(dòng)兩大系列,。其中，NXQ4000系列光刻機(jī)是以半自動(dòng)系統(tǒng)為主,。該系統(tǒng)*的操作性,，超高的分辨率,，均勻的光學(xué)系統(tǒng)，穩(wěn)定的接近式和接觸式光刻及超高的性價(jià)比,，使恩科優(yōu)光刻系統(tǒng)已經(jīng)被全國(guó)各地眾多著名企業(yè),、研發(fā)中心、研究所和高校采用,。
二,、技術(shù)參數(shù)：
1、芯片尺寸：5mm~150mm的圓片/方片和不規(guī)則碎片（支持對(duì)不規(guī)則碎片的特殊卡盤設(shè)計(jì)）,；
2,、曝光波長(zhǎng)：350nm-450nm（其它波長(zhǎng)可選配）；
3,、汞燈功率：350W/500W（其它功率可選配）,；
4、分辨率：優(yōu)于0.5um,；
5,、曝光模式：支持接近式曝光，各種接觸式（真空接觸,、軟接觸,、硬接觸等）曝光；
6,、出射光強(qiáng)范圍：10mW/cm2~55mW/cm2@405nm,；
7、支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式,；
8,、曝光時(shí)間：0.1~999.9s；
9,、對(duì)準(zhǔn)精度：雙高清彩色CCD + 雙高清彩色監(jiān)視器,，對(duì)準(zhǔn)精度可達(dá)到0.4微米內(nèi)；
10,、掩膜尺寸：2 x 2英寸到 9 x 9英寸(2 x 2英寸需要掩膜轉(zhuǎn)換器),；
11、光強(qiáng)均勻性Uniformity：
<±1% over 2” 區(qū)域,；
<±2% over 4” 區(qū)域,；
<±3% over 6” 區(qū)域；
12,、雙面光刻：具備背面紅外對(duì)準(zhǔn)（IR BSA）和光學(xué)背面對(duì)準(zhǔn)（OBS BSA）,，雙面對(duì)準(zhǔn)精度≤2μm；
13,、電源：高靈敏度光強(qiáng)可控電源,。
可選型號(hào)：
NXQ400-6
NXQ400-8
NXQ800-6
NXQ8006 Sapphire
NXQ800-8
三,、產(chǎn)品特點(diǎn)：
可選支持單面對(duì)準(zhǔn)和雙面對(duì)準(zhǔn)設(shè)計(jì)；
高清晰彩色雙CCD鏡頭采用*分裂視場(chǎng)顯微鏡鏡頭（基于無限遠(yuǎn)修正的CCD鏡頭設(shè)計(jì)）,；雙頭高清全彩物鏡（單視場(chǎng)或分裂視場(chǎng)可供用戶靈活選擇）,；
高清彩色雙顯示屏；
全新氣動(dòng)軸承導(dǎo)軌設(shè)計(jì),，高準(zhǔn),，低磨損，無需售后維護(hù)的,；
具有自動(dòng)執(zhí)行楔形誤差補(bǔ)償,，并在找平后自動(dòng)定位功能；
操作簡(jiǎn)易,，具有支持多操作員同臺(tái)使用的友好操作界面,；
操控手柄調(diào)控模式的*設(shè)計(jì)；
采用LED穿透物鏡照明技術(shù),，具有*對(duì)準(zhǔn)亮度,；
采用基于無限遠(yuǎn)修正的顯微鏡鏡頭架構(gòu),；
抗衍射反射的高效光學(xué)光路設(shè)計(jì),；
帶安全保護(hù)功能的溫度和氣流傳感器；
全景準(zhǔn)直透鏡光線偏差半角: <1.84度,；
設(shè)備穩(wěn)定性,，耐用性超高；
