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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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特征
1.晶圓尺寸50～150/200（mm）（其他可根據(jù)要求提供）
2.真空吸盤旋轉(zhuǎn)90度,。
3.X/Y軸直線滑動平臺。（其他可根據(jù)要求提供）
X軸的最大長度為150mm,，分辨率為5um,，其被顯示在屏幕上。
Y軸的最大劃線長度為150mm,。
Z軸最大調(diào)整長度為10mm,，分辨率為10um,。
4.夾頭的角度可以稍微調(diào)整一下。
調(diào)整角度為0.006~4度
5.劃線壓力可調(diào)
下行壓力約為5~600g（其他可根據(jù)要求提供）
6.金剛石刀具自動下降
7.觸地跌落升降機(jī)設(shè)計(jì)
8.角度金剛石工具可略微調(diào)整
調(diào)整角度為45度
具有精準(zhǔn)的控制系統(tǒng),，可以精確地調(diào)整劃片刀片的速度和位置,，確保切割過程準(zhǔn)確無誤。劃片過程需要在嚴(yán)格的潔凈室環(huán)境中進(jìn)行,，以避免任何雜質(zhì)對芯片質(zhì)量的影響,。
