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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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FR-Scanner 掃描型光學(xué)膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成： A) 光學(xué)光源裝置 小型低功率混合式光源 本系統(tǒng)混合了白熾燈和LED燈，終形成光譜范圍360nm- 1100nm,；該光源系統(tǒng)通過微處理控制,，光源平均壽命逾10000小時； 集成小型光譜儀,，光譜范圍360-1020nm,分辨精度 3648像素CCD 和 16位 A/D 分辨精度. 集成式反射探針,，6組透射光探針（200um），1組反射光探針,，探針嵌入光源頭,，可修整位置，確保探針無彎曲操作,； 光源功率:3W; B) 超快掃描系統(tǒng),，平面坐標(biāo)內(nèi)，可進(jìn)行625次測量/分鐘 (8’’ wafer) 或500次測量/分鐘(300mm wafer). 全速掃描時,，掃描儀的功率消耗不超過200W,； 樣品處理臺：大樣品處理尺寸可達(dá)300mm. 可滿足所有半導(dǎo)體工藝要求的晶圓尺寸。手動調(diào)節(jié)測量高度可達(dá)25mm,；配有USB通訊接口,，功率：100 - 230V 115W. C) FR-Monitor膜厚測試軟件系統(tǒng),， 可精確計算如下參數(shù)： 1）單一或堆積膜層的厚度； 2）靜態(tài)或動態(tài)模式下,，單一膜層的折射率,；本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫，可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測試分析,。本系統(tǒng)可支持吸收率,，透射率和反射率的測量，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,，一次使用*,，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結(jié)果分析使用。 D) 參考樣片: a) 經(jīng)校準(zhǔn)過的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片,； b) 經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片,； E) 附件 |
可定制適用于半導(dǎo)體工藝的任何尺寸的晶圓片(2”, 3”, 4”, 5”, 6”, 200mm, 300mm)
