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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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| 參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間：2024-05-17 10:38:53瀏覽次數(shù)：2180
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池 |
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勻膠涂膜機(jī)ST20+特點(diǎn)：
÷ 直驅(qū)無刷微調(diào)電機(jī)
÷ 全軸電機(jī)驅(qū)動且*可編程
÷ 具有程序菜單管理功能的軟件控制
÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋
÷ 旋轉(zhuǎn)器蓋傳感器控制
÷ 通過觸摸屏或按鈕啟動程序
÷ 7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺式外殼
÷ 外殼上的電源開關(guān)ON / OFF
÷ 配備標(biāo)準(zhǔn)的水坑噴嘴,，通過水坑噴嘴注入溶劑
÷ 可拆卸處理碗和飛濺環(huán)，便于清潔
÷ 可處理圓形晶片,，尺寸大為Ø200mm（Ø8英寸）
÷ 可處理方形基板,，尺寸大為150 x 150毫米（6 x 6英寸）
÷ 標(biāo)配多安裝3個(gè)介質(zhì)管線/噴嘴（可選：多5個(gè)介質(zhì)管線/噴嘴）
÷ 可視真空控制儀
÷ 真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動和系統(tǒng)運(yùn)行來控制
÷ 含0.5 Itr的廢液瓶
÷ 可選的帶Z軸移動和PR分配系統(tǒng)的電動介質(zhì)臂
÷ 可作為臺式安裝，也可做獨(dú)立裝置使用
÷ 簡單且經(jīng)濟(jì)高效
÷ 專為研究所,，實(shí)驗(yàn)室和基礎(chǔ)研發(fā)而設(shè)計(jì)
應(yīng)用于：旋涂,，顯影，清潔和干燥
勻膠涂膜機(jī)ST20+產(chǎn)品參數(shù)：
可處理襯底尺寸：直徑大為Ø200mm（Ø8英寸）圓片,，或大為150 x 150毫米（6 x 6英寸）方片,；
旋轉(zhuǎn)速度：10,000rpm *，（以rpm步長為單位）,；
加速度：4.000 rpm / sec *,；
處理時(shí)間：1至999,9sec，以0.1秒為步,；
處理碗：可更換,，聚丙烯（PP）材質(zhì)
腔體：白色（PP）材質(zhì)
固定晶圓片或襯底的裝置：真空托盤；
電源：230（208）VAC / 1Phase/ N / PE / 50（60）Hz
真空：-0.8 bar / -600 Torr,，管外直徑6 mm
排氣-過程：1x外徑38毫米,，約 30立方米/小時(shí)
氮?dú)猓蛇x）：4土0.2 bar，PFA管外徑6 mm
CDA（可選）：8土2bar,，管外徑8mm,。
選配項(xiàng)：
適用各種尺寸大小的托盤
分配臂
泵
