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UNIXX系列單面烘烤加熱臺

可處理基片達(dá)200 mm / 8英寸

半自動單面烘烤系統(tǒng)

設(shè)計用于：軟烘（預(yù)烤）,；硬烘

HMDS（六甲基二硅氮烷）的選配：蒸氣起泡,，真空干燥

UNIXX系列單面烘烤加熱臺，HT20e設(shè)計用于基材的單面烘烤,，用于預(yù)烘烤和后烘烤或脫水烘烤過程,。尤其適用于粘合劑底漆（HMDS;六甲基二硅氮烷），可用于蒸汽底漆或真空干燥的熱板模塊,。帶有電子可編程升降針的烘烤模塊,，配有觸摸屏，便于操作,。 軟件提供了簡單方便的過程控制和配方創(chuàng)建,。 界面簡單易于使用，可隨時控制流程,。這些溫度模塊有臺式安裝式,，塔式安裝式或獨立式供選擇。

設(shè)計用于以下應(yīng)用：旋涂或噴涂,，顯影,，烘焙和冷卻以及EBR

特點：

溫度模塊（電動）

加熱板系統(tǒng)帶有電動升降頂針

加熱板模塊（Z高300°C）

電子驅(qū)動的升降針

標(biāo)準(zhǔn)的頂針由不銹鋼和PEEK制成（Z高250°C）

升降針，可編程（根據(jù)不同停止的速度和步長）

加熱板表面上的真空管路用于固定基板

手動控制加熱板的頂蓋

集成式排氣

半自動控制器單元：

7英寸彩色觸摸屏

配方編輯器來編寫,，管理和配置

實際可視化效果監(jiān)控

用于配方,，流程，日志文件的庫功能（例如,，錯誤跟蹤歷史記錄）

具有密碼保護(hù)服務(wù)訪問權(quán)限的用戶管理

通過USB或Intranet連接進(jìn)行更新和備份功能

產(chǎn)品參數(shù)：

基板尺寸：大直徑200毫米（直徑8英寸）圓片或200x 200毫米（8 x8英寸）方片,；

溫度范圍：Z高300°C *,，以1°C/步可調(diào)；

溫度精度：在100°C時<士1°C,；

升降針(1套）：直徑50 mm（直徑2英寸）到直徑200 mm（直徑8英寸）或200x 200mm（8 x8英寸）,；

加熱臺表面：由硬質(zhì)陽極氧化鋁制成；

加熱臺頂蓋：由微拋光不銹鋼制成,；

加熱臺外殼：由PP制成,；

控制器單元：7寸觸摸屏；

電壓：230（110）VAC / 1Ph / N / PE / 50（60）赫茲,；

CDA：8 bar,，管外徑6 mm；

真空：-0.8 bar / -600bar,，管外徑6 mm,；

排氣爐：1 x 外徑 40毫米，80立方米/小時,；

氮氣（可選）：4土2bar,，管外徑6 mm；