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AS-One真空快速退火爐，性能ZYUE,，可搭配分子泵實現(xiàn)高真空下熱處理工藝,。Z高溫度1500 ℃，Z快升溫速率200℃/Second,。全程PC軟件控制升溫程序，保證溫度不過沖,，控溫精度準確,。

產(chǎn)品特點：

1、 紅外鹵素?zé)艄芗訜?，冷卻采用風(fēng)冷（低噪音水平,，無需壓縮空氣）；

2,、加熱由功率控制而非電壓控制,，避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問題，保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性，即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達到初的熱處理效果,；

3,、石英腔體，腔體冷卻采用水冷,，冷壁設(shè)計,，雙層不銹鋼；

冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點在于：1,、無記憶,，2、工藝重復(fù)性高,，3,、冷卻速度快；

4,、反應(yīng)腔室的設(shè)計,，氣體的進入口設(shè)計在wafer的表面，避免在退火過程中冷點的產(chǎn)生,。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性,；

5、快速數(shù)字PID控溫,；

6,、熱電偶配合高溫計控溫，測試樣品的溫度,，控溫JIN準,；

7、大氣和真空工藝均適合,，凈化氣體配針閥,；

8、多5路工藝氣體,，配數(shù)字質(zhì)量流量控制器,；

9、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度,；

10,、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設(shè)計，用于小樣品測試,；

11,、可選配分子泵，用于高真空測試,；

產(chǎn)品標(biāo)準配置及規(guī)格參數(shù)：

1,、樣品Z大尺寸：AS-One100：4-inch；AS-One150 ：6-inch；

2,、紅外鹵素?zé)簦?/span>AS-One100 12支,； Z大功率：30KW；

                          AS-One150 18支,； Z大功率：34KW,；

3、紅外鹵素?zé)衾鋮s方式：風(fēng)冷,；

4,、溫度范圍：AS-One100室溫~1250 ℃；（室溫~1500 ℃可選）

                       AS-One150室溫~1200 ℃,；（室溫~1300 ℃可選）

5,、升溫速率：AS-One100 ：0.1 ℃~250 ℃/s ；

                       AS-One150 ：0.1 ℃~200 ℃/s ,；

6,、溫度控制：快速數(shù)字PID控制；

7,、熱電偶：2個K型熱電偶,；（安裝中心和邊緣）

8、進氣口：位于石英窗下,；

9,、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計：壓力：2bars，多可配置5路,； 

10,、配置真空泵及真空規(guī)：真空度：10e-3 Torr；（分子泵選配10e-6 Torr）

11,、尺寸：AS-One100：510*800*1425mm (W*D*H),；

                  AS-One150：510*800*1425mm (W*D*H)；

       重量：AS-One100：194Kg,；

                 AS-One150：凈重240Kg,；