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MINN M6勻膠旋涂儀 可旋涂處理小碎片至6英寸圓晶圓片,，使用無刷直流雙向旋轉馬達控制,，轉速穩(wěn)定，控制器可拆卸配合手套箱使用,，4.3英寸全彩觸屏人機界面操作,，簡單易用。M6 Spin Coater外形美觀,，結構緊湊,，專為實驗室，研發(fā)和小規(guī)模生產部門提供性價比高的勻膠涂覆設備,。MINN M6勻膠旋涂儀 在材料,、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關領域,。

二,、技術參數

▲1.保護氣體裝置：旋涂過程中對旋轉馬達進行氣流保護（可選擇取消）；

2.支持Wafer尺寸：小標配為10 mm,，可選配到3mm或5mm,；大到直徑6英寸（150mm）的圓片或邊長5x5英寸（125x125mm）的方片，無需更換片托,；

3.設備材質：全部采用易清潔的NPP天然聚丙烯材質,，環(huán)保，抗震,，耐腐蝕,；

▲4.無刷馬達：直流雙向旋轉，正反旋轉速度±100~±12000rpm,，穩(wěn)定性能誤差±1rpm,；

5.馬達安全模式：可設置非真空模式,，轉速3000rpm，加速度500rpm/s,；

6.加速度可控范圍：100-30000RPM/S,；

7.工藝時間：每步可以設定45小時，精度不超過0.1秒,；

8. PLC控制：4.3英寸全彩觸摸屏高精度PLC可編程的控制器,；

9.程序段：可存儲99個程序段，每個程序段可設置50個不同步驟的速度狀態(tài),；

10.無油真空泵：220V/50Hz,；真空吸附范圍25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可調節(jié)；

11.擴展功能：可升級預留端口,，可擴展自動滴膠裝置,、自動去邊裝置、手動去邊等選配項,。

三,、設備性能特點

馬達控制：無刷直流雙向旋轉；

智能程控：控制器可拆卸,，4.3英寸寸全彩觸屏,，配有智能觸碰筆，按鍵有提示音,，選中功能有顏色區(qū)分,，適用于手套箱；

腔體材質：易清潔的NPP天然聚丙烯材質,，抗腐蝕性；

模式切換：可自由切換單步模式,、多步模式和曲線分析圖,；

防止堵膠：雙真空腔設計；

預留端口：可升級擴展其他多種選配項,；

密碼功能：設有開機密碼和管理員密碼,，管理員有權限修改核心參數；

安全報警：系統(tǒng)蓋板嵌鎖,、真空異常,、通氣異常、系統(tǒng)進膠,、馬達轉速異常均會報警,，通過聲音和界面對話框提示；

氣流保護：旋涂過程中對馬達進行氣流保護（也可選擇取消）,，易維護,，易清潔,，大幅提高馬達使用壽命；

四,、應用領域

• 半導體芯片制造
• 鈣鈦礦太陽能電池制備
• 微納和微流控
• 納米薄膜
• 高分子材料
• 有機光伏
• 有機發(fā)光二極管
• 有機場效應晶體管&薄膜晶體管
• 石墨烯&二維材料

主營產品：

Laurell勻膠機     

Harrick等離子清洗機

Thetametrisis膜厚儀  

Microxact探針臺

ALD原子層沉積系統(tǒng)

TRION反應離子刻蝕機

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻機       

Novascan紫外臭氧清洗機

Nilt納米壓印機

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板

Annealsys高溫退火爐

Kinematic程序剪切儀

Laurell EDC系統(tǒng),，濕站系統(tǒng)     

Wabash/Carver自動壓片機