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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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| 參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間：2024-05-17 08:34:15瀏覽次數(shù)：3072
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| 供貨周期 | 一個(gè)月 | 規(guī)格 | 100ML/250ML/500ML/1L |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 | 主要用途 | 改善涂層性能 ,更快干燥以提高產(chǎn)量 ,垂直側(cè)壁 |
加工準(zhǔn)則
SU-8 2000光刻膠通常用常規(guī)的UV（350-400 nm）輻射曝光,，盡管建議使用i-line（365 nm）波長,。 SU-8 2000也可能會(huì)受到電子束或X射線輻射的照射。 曝光后,，交聯(lián)在兩個(gè)步驟中進(jìn)行（1）在曝光步驟中形成強(qiáng)酸，然后（2）在曝光后烘烤（PEB）步驟中進(jìn)行酸催化的熱驅(qū)動(dòng)環(huán)氧交聯(lián),。 正常過程是：旋涂,，軟烤,，曝光，PEB,，然后顯影,。
SU-8 2000功能
•高縱橫比成像
•單層涂膜厚度為0.5至> 200mm
•改善涂層性能
•更快干燥以提高產(chǎn)量
•近紫外線（350-400 nm）處理
•垂直側(cè)壁
硬烤（固化）
SU-8 2000具有良好的機(jī)械性能,。但是，對(duì)于要保留成像的抗蝕劑作為終設(shè)備一部分的應(yīng)用,，可以將硬烘烤結(jié)合到該過程中,。通常僅在終設(shè)備或零件在正常運(yùn)行期間要進(jìn)行熱處理時(shí)才需要這樣做,。添加了硬烘烤或終固化步驟,，以確保SU-8 2000的性能在實(shí)際使用中不會(huì)改變。 SU-8 2000是一種熱敏樹脂,，因此暴露于比以前高的溫度下,，其性能會(huì)不斷變化,。我們建議使用的終烘烤溫度要比設(shè)備的預(yù)期工作溫度高10°C。根據(jù)所需的固化程度,，通常使用的烘烤溫度范圍為150°C至250°C,，烘烤時(shí)間為5至30分鐘。注意：硬烘烤步驟還可用于對(duì)顯影后可能出現(xiàn)的任何表面裂紋進(jìn)行退火,。建議的步驟是在150°C下烘烤幾分鐘。這適用于所有膜厚度
