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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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| 參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間：2024-05-17 08:21:08瀏覽次數(shù)：1845
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
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美國RTP系列的快速退火爐溫度均勻度≤1%,，處理的大尺寸可以達(dá)到200mm，溫度可以達(dá)到1200攝氏度,，處理過程可以在真空環(huán)境或者惰性氣體的環(huán)境中執(zhí)行,，做多可支持4~6路進(jìn)氣，可以用到的氣體包含N2,，O2,，N2H2，Ar和H2,。
基于PID處理控制器的Solaris GUI可以存儲(chǔ)程序,，每套程序可以支持高達(dá)100個(gè)步驟的設(shè)定，帶USB2.0的接口,。包含Solaris GUI 軟件,，與微軟Windows操作系統(tǒng)兼容。通過該軟件,，通過鏈接電腦可以非常方便地實(shí)現(xiàn)程序編輯以及數(shù)據(jù)記錄,。
技術(shù)規(guī)格：
- 溫度：1200攝氏度；
- 升溫速率：150攝氏度/秒,；
- 溫控均勻性：±2.5℃設(shè)定溫度,；
- 加熱方式：紅外鹵素?zé)簦敳考暗撞繀^(qū)域加熱,；
- 處理時(shí)間：0.1秒至無*,；
- 燈管數(shù)量及功率：13支，
- 腔體冷卻：風(fēng)冷方式,；
- 襯底冷卻：氮?dú)獯祾撸?/span>
- 工藝氣路：MFC控制,，多6路 (氮?dú)狻鍤?、氧氣,、氫氮混合氣?/span>)；
