電子類樣品檢測手段多種多樣,，其中掃描電子顯微鏡檢測不僅觀察樣品表觀形貌，通過制樣設備可實現(xiàn)對內部*點或區(qū)域的觀察分析,，就目前來說電鏡觀察手段及觀察方法漸趨成熟,，但制樣手段及手法仍有許多值得探究，在這里簡單介紹下簡單易操作的制樣方法,。
下圖是經(jīng)常遇到的幾個電子類材料的類型,，線路板PCB,LED,OLED等，從材料角度來說,，基本為復合材料（金屬/玻璃/硅/聚合物,，填料）；大多為軟硬結合材料,；大多為分層結構,；多為局部器件的平整面獲取和分析。
圖1.電子材料部分類型舉例
一般根據(jù)樣品形狀大小,，分析觀察需要,，可采用三種方式制備樣品：
圖2.微電子類材料處理的簡單方法
圖3.徠卡三離子束EM TIC 3X多功能樣品臺圖示
對于樣品較薄或待分析結構位于表面10微米左右，其處理方法及所需工具如下,，膠水,，膠帶（或其他平整柔軟墊子）載玻片，加熱臺過程如下：膠帶貼于載玻片（若有耐高溫軟墊子，則不需要此步驟）,，將膠水混合滴在膠帶上,，樣品有結構的一面扣在膠水上，輕輕按壓,，加熱臺加熱后,，抬起膠帶，則膠水與樣品固化在一起,，此方法的優(yōu)點在于不會過多使用膠,，樣品導電性不會因為過多的膠引起荷電效應過重或后續(xù)處理過于復雜。
圖4.較薄樣品處理所用耗材及工具簡圖
對于較柔軟樣品,，如柔性屏,，由于其材質的不同，則處理起來與上述不同,，其需要準備的耗材如下：剪刀或刀片（視材料的薄厚而定）取小塊樣品,，用鋁箔紙將其包覆起來，膠水封口,，干燥后刀片切出斷面,，粘在小片硅片上或小樣品托上，接著離子束加工即可,。
圖5.柔性電子材料制樣工具及耗材
由于電子類材料多為復合材料,，且多為膠類物質填充其中，因此電鏡觀察除了要復合用背散射電子成像信息更豐富以外,，導電性是一個干擾正常觀察項,，同時，微電子材料的諸如分層結構等多為納米或亞微米級,，因此對鍍膜處理要求高,，若鍍膜顆粒大則分層不清楚甚至不分，較寬范圍的金屬層結構的晶向結構無法分析,，徠卡高真空鍍膜儀EM ACE600鍍膜顆粒細膩,，膜厚可控，非常適合離子束加工后的微電子類材料平整斷面處理,。
圖6.徠卡高真空鍍膜儀 EM ACE600
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