型號

SJ-500

標(biāo)準(zhǔn)型

（選件）

測量范圍

Z1軸（檢出器）

800μm,，80μm,，8μm

X軸

50mm

直線度

0.2μm/50mm*1

分辨力

X軸

0.05μm

Z1軸（檢出器）

0.01μm（800μm），0.001μm（80μm）,，0.0001μm（8μm）

Z2軸（立柱）

——

——

驅(qū)動速度

X軸

0-20mm/s或手動操作

Z2軸（立柱）

——

測量速度

0.02-5mm/s

上下移動量

連接裝置：30mm

評價輪廓

原始輪廓,，粗糙度輪廓，波形輪廓,，DF輪廓,，粗糙度motif輪廓,，波形，motif輪廓

評價參數(shù)

Ra,Rc,Ry,Rz,Rq,Rt,Rmax,Rp,Rv,R3z,Sm,S,Pc,m(rc),&c,mr,tp,Htp,Lo,Lr,Ppi,HSC,△a,△q,Ku,Sk,Rpk,Rvk,Rk,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo, λa,λq,R,AR,Rx,W,AW,,Wte　

輪廓分析

階差（平均,，zui大,，zui小）,，圓,，角度，面積,，坐標(biāo)值邊緣,，傾斜角

分析圖表

負(fù)荷曲線（BAC）,振幅分布曲線（ADC），功率譜圖

曲線補充

拋物線補償,，雙曲線補償,，橢圓補償，圓補償,，錐面補償,，傾斜補償（曲面/任意）

濾波

2CR75，PC75,，高斯魯棒樣條

截止波長

Λs

0.25,0.8,2.5,8,25,80,250μm,，無濾波

Λc

0.025,0.8,0.25,0.8,2.5,8,25,80*2mm無濾波

Λf

0.8,0.25,0.8,2.5,8,25,80*2mm無濾波

取樣長度

0.025,0.8,0.25,0.8,2.5,8,25,80*2mm無濾波

LCD規(guī)格

7.5″帶背光的TFT液晶顯示