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多通道石英晶體監(jiān)測(cè)儀

SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術(shù)在鍍膜過程中測(cè)量沉積速率和膜厚的精密儀器,，標(biāo)準(zhǔn)型有兩路傳感器輸入,，同時(shí)，4路傳感器輸入可選，具體視用戶實(shí)際應(yīng)用而定,；雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號(hào)。

在大型系統(tǒng)中,，傳感器輸入可以分配給不同材料,，采集的數(shù)據(jù)通過平均值，以達(dá)到更精確的沉積控制,；也可以設(shè)定為雙探頭模式,。在高沉積速率過程中，為了延長(zhǎng)傳感器的使用壽命,，速率采集 模式允許探頭帶一個(gè)檔板,。用戶可以自己選擇0.1埃/s 還是0.01埃/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示模式,。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源,、探頭檔板、信號(hào)時(shí)間,、膜厚設(shè)定值以及晶片失效信號(hào)等,。

數(shù)字輸入可以通過外部信號(hào)來對(duì)讀數(shù)進(jìn)行開始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監(jiān)測(cè)儀采用了RS-232接口和Windows?窗口軟件,，可以通過電腦上進(jìn)行調(diào)試安裝,。軟件可以用來設(shè)置和存儲(chǔ)所有參數(shù)，包括儀器操作和保留程序數(shù)據(jù)到特定的Excel?文檔,。同時(shí),，USB或以太網(wǎng)選項(xiàng)也添加通信協(xié)議中，以zui大程度方便不同用戶,。

便于使用

開啟速率和膜厚測(cè)量，只需先按住Zero鍵以清除上次讀數(shù),，然后關(guān)閉,，打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時(shí)顯示膜層厚度和沉積速率,，即使操作人員離監(jiān)測(cè)儀一定距離也仍然清晰可見,。當(dāng)達(dá)到預(yù)設(shè)膜厚或者鍍膜時(shí)間到了，檔板就會(huì)自動(dòng)關(guān)閉,，同時(shí)前面板報(bào)警器開始亮燈,。在鍍膜過程中，操作員可以在任意時(shí)間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩余使用壽命,。雙菜單可以對(duì)監(jiān)測(cè)儀的99個(gè)存儲(chǔ)膜系進(jìn)行設(shè)置,。首先，選“program”鍵，進(jìn)入菜單,，然后,，旋轉(zhuǎn)撥針鈕，這樣就可以選擇或者編輯參數(shù)了,。主顯示界面顯示菜單提示,，而設(shè)定的數(shù)據(jù)可以在輔助界面中找到。

高精度,，低成本

標(biāo)準(zhǔn)型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個(gè)讀數(shù)/秒,如果用戶有更嚴(yán)格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個(gè)讀數(shù)/秒的高精型,。SQM160另一大優(yōu)點(diǎn)是在整個(gè)工作范圍內(nèi)，溫度穩(wěn)定性可以達(dá)到2ppm,。高精度和高穩(wěn)定性的聯(lián)袂使得該款儀器具備了的性價(jià)比,。

                  產(chǎn)品特點(diǎn)：

       ■ 雙通道（標(biāo)準(zhǔn)型），四通道可選

        ■ 沉積速率/膜層厚度模擬輸出

        ■ 高精度: 0.03Hz at 10個(gè)讀數(shù)/s

        ■ RS-232 接口, USB 或以太網(wǎng)可選