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作為針對各種應(yīng)用的業(yè)界*標(biāo)準(zhǔn),，Aera® FC-7700 系列 MFC 提供精確的流量控制,，同時具備彈性密封的經(jīng)濟優(yōu)勢,。對于半導(dǎo)體、平板顯示器,、數(shù)據(jù)儲存,、工業(yè)真空、及工業(yè)涂層的工藝及裝備工程師,，這一系列提供針對非腐蝕性氣體應(yīng)用（包括 CVD,、PVD、蝕刻,、離子注入,、濺射、熱氧化,、光學(xué)玻璃鍍膜,、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝）的高度可靠性和出色的性能,。

作為針對各種應(yīng)用的業(yè)界*標(biāo)準(zhǔn),，Aera® FC-7700 系列 MFC 提供精確的流量控制，同時具備彈性密封的經(jīng)濟優(yōu)勢,。對于半導(dǎo)體,、平板顯示器、數(shù)據(jù)儲存,、工業(yè)真空,、及工業(yè)涂層的工藝及裝備工程師，這一系列提供針對非腐蝕性氣體應(yīng)用（包括 CVD,、PVD,、蝕刻、離子注入,、濺射,、熱氧化,、光學(xué)玻璃鍍膜、光纖,、表面處理以及其它鍍膜工藝）的高度可靠性和出色的性能,。

優(yōu)勢
快速響應(yīng)——設(shè)置點之間的流量沉淀時間不到2秒的可靠性——一年零漂移不到滿標(biāo)度流量的0.5% 易于整合——標(biāo)準(zhǔn)連接器和尺寸出色的效果——優(yōu)質(zhì)薄膜特性

性價比高
FC-7700系列產(chǎn)品專為那些要求頂極性能，但不要求具有耐腐蝕性或超高漏率要求的應(yīng)用而定制,，不僅性價比好,，而且控制精度非常高。

響應(yīng)速度快

FC-7700系列產(chǎn)品采用技術(shù)設(shè)計,，工作性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于同類質(zhì)量流量控制器MFC.其*之處包括：采用了一種敏感性強,、響應(yīng)速度快的小直徑傳感器。另外,，與采用低速熱敏閥的同類產(chǎn)品相比,，FC-7700系列產(chǎn)品采用常開或常閉式電磁閥，具有較快的響應(yīng)速度,。提高響應(yīng)速度之后,，避免了出現(xiàn)過沖，達(dá)到設(shè)定點的時間不到2秒--在所有帶標(biāo)準(zhǔn)電磁閥的質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品中是zui快的,。

的可靠性

由高質(zhì)量的電子組件和采用耐用,、zui少元器件的設(shè)計理念，這使它可以經(jīng)受強射頻場的干擾,，滿足其它運轉(zhuǎn)要求,，并具有同類產(chǎn)品中*的零點漂移穩(wěn)定性--使用超過一年，零點漂移不到滿量程的0.5%,。在投入使用的25,，000件以上產(chǎn)品中，僅有不到0.5%的產(chǎn)品在出貨一年內(nèi)返修,。

易于集成
替換其它品牌,，即可輕松獲得Area質(zhì)量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優(yōu)勢，且不會遇到安裝方面的麻煩,。特定型號的產(chǎn)品帶有標(biāo)準(zhǔn)電氣接頭并具有臨界尺寸,，可輕松裝入現(xiàn)有的系統(tǒng)。

出從的效果
FC-7700系列質(zhì)量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的*性,，同時還有高度的可重復(fù)性

型號參數(shù)：

類別	FC-7700,、7700C、7700CD,、7700CU	FC-7710,、7710C、7710CD、7710CU	FC-7720,、7720C,、7720CD
滿量程范圍	10sccm到5slm	6到20slm	35到150slm
		20到50slm
響應(yīng)時間	到達(dá)設(shè)定點±2%所需時間<2秒		到達(dá)設(shè)定點±2%所需時間<3秒
精度	滿量程±1%范圍內(nèi)	滿量程±2%范圍內(nèi)
線性度	滿量程±0.5%范圍內(nèi)	滿量程±0.5%范圍內(nèi)	滿量程±1%范圍內(nèi)
		滿量程±1%范圍內(nèi)
重復(fù)精度	滿量程±0.2%范圍內(nèi)
漏率	zui大值1×10-6 atm-cc/秒（氦）
控制范圍	滿量程的5到*
壓差	7至40 psi	10至40 psi（517至2069托）	21至40 psi（1086至2069托）
	（362至2069托）	14至40 psi（724至2069托）
正常工作壓力	50 psi（2586托）
zui大入口壓力	zui大值150 psi（7740托）
溫度范圍	5至45℃

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