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INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計, 在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能. *的數(shù)字電子學提高真空計的性能和易于使用的特點, 如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點調(diào)整. 抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命. *的傳感器屏蔽 （技術(shù)） 保護真空計防止過程污染. 堅固耐用的機械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學加強了EMC 兼容性, 長期穩(wěn)定性和溫度補償性. CDG025D 真空計為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新的標準.

優(yōu)點
■ 全刻度范圍從 100 毫乇… 1000 乇
■ 電源接通后快速穩(wěn)定
■ 暴露大氣壓后快速恢復(fù)
■ 抗腐蝕性陶瓷傳感器
■ 的長期訊號穩(wěn)定性
■ 溫度補償
■ 保護傳感器防止污染
■ 一鍵調(diào)零功能
■ 寬范圍電源
■ 兩個設(shè)點
■ RS232接口
■ 符合清潔室條件

用途
在要求高的應(yīng)用中用于精確和快速的壓強測量:
■ 用于刻蝕, CVD, PVD, ALD 等半導(dǎo)體制造設(shè)備
■ 數(shù)據(jù)貯存和顯示器制造設(shè)備
■ 工業(yè)真空設(shè)備
■ 一般高精度壓強測量