
OnToolTMBooster系列側(cè)槽泵
直接對(duì)大氣排氣的新式高真空泵,!創(chuàng)新設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,,功率強(qiáng)勁,。
新式的OnTool ™ Booster帶著強(qiáng)勁的功率和緊湊的結(jié)構(gòu)出現(xiàn)在真空技術(shù)中。它以高達(dá)130 m3/h的抽速以及小于1 · 10-5mbar的極限真空度而著稱,。到目前為止在很多應(yīng)用領(lǐng)域高真空泵和前級(jí)泵之間都需要聯(lián)接,。但是因?yàn)镺nTool ™ Booster可以直接對(duì)大氣進(jìn)行排氣,所以它不需要前級(jí)泵,。因此用戶可以節(jié)約場(chǎng)地和成本,。因?yàn)樵O(shè)計(jì)緊湊,該泵可以直接安裝在設(shè)備上(例如閘閥傳輸艙),。OnTool ™ Booster也是研發(fā),,鍍膜以及半導(dǎo)體工業(yè)等需要清潔環(huán)境的應(yīng)用方面的*選擇,因?yàn)楣ぷ鬟^(guò)程中無(wú)顆粒物,,腐蝕性氣體以及冷凝物,。它可以用于多種用途,既可以作為真空泵單獨(dú)使用,,也可以作為分子泵的前級(jí)泵使用,。
OnTool™ Booster –直接對(duì)大氣排氣的高真空泵
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)一覽
創(chuàng)新的設(shè)計(jì) -----直接大氣壓環(huán)境下工作,產(chǎn)生高真空
緊湊 -----現(xiàn)代,便利的設(shè)計(jì)
強(qiáng)勁 -----高達(dá)130 m3/h的超高抽氣速度
低成本 -----不需要前級(jí)泵
無(wú)顆粒排放物 -----適用于所有的清潔用途
靈活 -----既可單獨(dú)使用也可以作為前級(jí)泵使
應(yīng)用范圍
· 傳輸艙 · 閘閥 · EUV-拼版印刷
· 太陽(yáng)能電池鍍膜 · 光學(xué)鍍膜 · 表面加工
· 模擬艙 · 白熾燈泡生產(chǎn)