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邊緣™ CDG100D2 - 100°C - 內部熱,，外部小

INFICON Edge CDG100D2電容膜片式真空計是專為惡劣制造環(huán)境設計的極其準確的真空測量儀表,。成熟的控溫、防腐蝕,、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性,，而且具有不可超越的零位穩(wěn)定性。Edge 隨附 INFICON 已獲磚利的非常特別傳感器屏蔽,，用于保護真空計,，使其免受不需要的過程副產(chǎn)品的影響。*的電子元件能為所有應用提供范圍廣泛的可配置信號調節(jié),，另外還有 EtherCAT 現(xiàn)場總線接口可供選擇,。創(chuàng) 新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫，并節(jié)約寶貴的工具空間,。INFICON Edge 是同類產(chǎn)品中*小的真空測量儀器,。

好處
1，緊湊型,，節(jié)省寶貴的工具空間
2,，易于集成，各種滿刻度,、法蘭,，標配兩個設定點
3，輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令,，可調零點偏移
4,，診斷端口便于快速服務與維護
5,，兩年保修服務，*的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
6,，超卓的信號穩(wěn)定性和可重復性,，即使是嚴苛的等離子應用，都無需長期執(zhí)行重新校準
7,，合規(guī)和標準：CE,、EN、UL,、SEMI,、RoHS

典型應用
1，CVD,、蝕刻,、PVD 及其他半導體生產(chǎn)過程

Edge CDG100D2電容膜片式真空計