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OPG550 光學(xué)等離子真空計(jì)

INFICON Augent^TM光學(xué)等離子體測(cè)量儀是一種緊湊的智能真空監(jiān)測(cè)解決方案,。AugentTM 將兩種傳感器技術(shù)結(jié)合到一個(gè)緊湊的設(shè)備中，用于 1 x 10-7 至 5 mbar 的氣體類型監(jiān)測(cè),，并同時(shí)測(cè)量 1 x ^10-7mbar 到大氣壓的總壓力,。Augent^TM由集成的皮拉尼傳感器保護(hù),，可關(guān)閉 20 mbar 以上的等離子體,。快速光學(xué)測(cè)量原理原則上可以檢測(cè)任何類型的氣體,。

好處

1,，高速泄漏檢測(cè)允許腔室泄漏測(cè)試

2， 提高生產(chǎn)率和產(chǎn)量

3,，使用壽命長,，無燈絲**，氣涌保護(hù)

4,，承受工藝化學(xué)反應(yīng)

5,，智能算法，易于集成

6,，設(shè)計(jì)緊湊,，占地面積小

7，可靠且快速的啟動(dòng)

典型應(yīng)用

1,，腔室泄漏檢查,，更快的RoR（上升速率）測(cè)試

2，泄漏檢查以查找供氣管線的內(nèi)部泄漏

3,，實(shí)時(shí)終點(diǎn)控制

4,，氣體類型和濃度控制

OPG550 光學(xué)等離子真空計(jì)