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PPG550 ATM 至中真空計

新型 INFICON 皮拉尼壓電組合壓力計 （PPG550） 基于**的 MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器技術(shù),。

在MEMS工藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術(shù)可以構(gòu)建一個非常小的傳感器,，從而節(jié)省空間，這使得測量設(shè)備的整體高度非常小成為可能,。

除了高度低的優(yōu)勢外,，基于MEMS技術(shù)的皮拉尼還具有在高壓范圍內(nèi)比經(jīng)典皮拉尼更深、更精準地測量的優(yōu)勢,。結(jié)合安裝在同一法蘭上的MEMS壓電傳感器,，皮拉尼真空計成為真正的真空寬量程計，將測量范圍擴展到遠遠超過通常的1000 mbar,，也朝向大氣。同時,，MEMS壓電傳感器提供2 ...1333毫巴,。上述技術(shù)的另一個優(yōu)點是增加了對加速力和振動的抵抗力。

*后但并非*不重要的一點是,，新型 INFICON PPG550 可用于直接插入,，取代所謂的 MKS910“雙傳™微型皮拉尼 - 絕 對壓電真空壓力傳感器"以及 MKS925“微型皮拉尼™™真空壓力傳感器",。Inficon 具有相同的連接器/引腳分配、模擬輸出和 RS232/485 兼容性,。

8，合規(guī)性和標準：CE,，EN,，UL，CSA,，RoHS

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