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BAG552熱電離真空計

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貨物所在地：浙江杭州市

所在地： 列支敦士登

更新時間：2024-11-01 11:42:05

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產(chǎn)品分類品牌分類

INFICON真空測量控制儀器: 寬量程真空計高精度真空計真空計控制器

INFICON氣體檢漏設(shè)備: 便攜式檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀鹵素檢漏儀其他檢漏儀

INFICON膜厚控制系統(tǒng): 膜厚監(jiān)測儀膜厚控制儀石英晶振片

INFICON殘余氣體分析儀: 殘余氣體分析儀氣體分析系統(tǒng)

INFICON化學(xué)檢測與監(jiān)測: 化學(xué)物質(zhì)監(jiān)測系統(tǒng) 氣體泄漏檢測儀氣體分析儀

LEYBOLD真空儀器及耗材: 工業(yè)級檢漏儀真空泵油顯示控制儀萊寶真空計

BUSCH真空設(shè)備: 廢氣處理系統(tǒng)

PFEIFFER真空控制儀器: 全量程真空計

Vogtlin流量控制器: 質(zhì)量流量計可變面積流量計

真空泵及耗材: 干泵機(jī)械泵分子泵

ALICAT質(zhì)量流量控制儀器: 多功能質(zhì)量流量計和控制器

MKS流量計及真空計: 質(zhì)量流量計

真空閥門: HPS真空閥門 VAT真空閥門壓電閥

真空配件: 超高真空 CF 元件

阿爾卡特: 顯示控制器

ASTM標(biāo)準(zhǔn)油: 橡膠塑料試驗油

水汽冷凝捕集系統(tǒng): TVP3500

過濾器: 金屬過濾器微粒過濾器水冷分離器

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產(chǎn)品簡介詳細(xì)介紹

對于需要獨立熱離子規(guī)技術(shù)的應(yīng)用,，Trigon™ 系列中包含了采用單一技術(shù)的 Bayard-Alpert 熱電離規(guī) BAG552,。
BAG552熱電離真空計為壓力范圍為 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的氣體真空測量而設(shè)計。支持雙燈絲,，具有出色的精度,、可重復(fù)性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計控制器系列 VGC501,、VGC502 和 VGC503 配合使用,。

對于需要獨立熱離子規(guī)技術(shù)的應(yīng)用，Trigon™ 系列中包含了采用單一技術(shù)的 Bayard-Alpert 熱電離規(guī) BAG552,。

BAG552熱電離真空計專為壓力范圍為 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的氣體真空測量而設(shè)計,。支持雙燈絲,，具有出色的精度、可重復(fù)性和使用壽命,。BAG552 還可與 INFICON 真空計控制器系列 VGC501,、VGC502 和 VGC503 配合使用。

BAG552熱電離真空計

優(yōu)勢

1,，純粹的 Bayard-Alpert 測量系統(tǒng),，適用于超高壓和高壓測量范圍
2，雙燈絲設(shè)計
3,，電隔離電子設(shè)備,，避免雜散電流
4，滑動發(fā)射模式,，避免在切換發(fā)射流時出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象
5,，可移動校準(zhǔn)數(shù)據(jù)芯片，延長了烘烤時間
6,，設(shè)定點繼電器
7,，明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面
8,，模擬輸出,、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
9,，可與 VGC50x 控制器系列配合使用
10,，符合 RoHS 規(guī)范

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體工藝中的壓力測量
工業(yè)鍍膜
高真空至超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制

測量范圍：(氣, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar
準(zhǔn)確度：1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar ±15% 讀數(shù)
可重復(fù)性： 5% 讀數(shù), 10-8 … 2 × 10-2 mbar (穩(wěn)定 10 分鐘后）
暴露在真空中的材料不銹鋼、鎳鐵合金,、鍍鎳,、哈氏合金、玻璃,、銥,、氧化釔 (Y2O3)、鎳,、鎢

BAG552熱電離真空計