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優(yōu)勢
1，雙測量儀（2 個傳感元件）,，測量范圍寬,，降低成本，節(jié)省空間
2,，用于 Bayard-Alpert 系統(tǒng)的 2 根燈絲
3,，皮拉尼互鎖保護，避免燈絲過早燒毀
4,，自動高真空皮拉尼調(diào)節(jié),，減少操作員干預(yù)
5，電隔離電子元件，避免雜散電流
6,，滑動排放模式,，避免切換排放流時出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象
7，可移動的校準數(shù)據(jù)芯片延長了烘烤時間
8,，設(shè)定點繼電器
9,，明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面
10,，模擬輸出,、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11,，可與 VGC50x 控制器系列配合使用
12,，向后兼容 BPG402

13，符合 RoHS 規(guī)范

典型應(yīng)用
半導(dǎo)體工藝中的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空到超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制 超高真空范圍

測量范圍（空氣,、O2,、CO、N2） 5 × 10-10 … 1000 mbar

準確性   1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar  讀數(shù)的 ±15
            1 x 10-2 mbar … 1000 mbar   讀數(shù)的 ±30
重復(fù)性 讀數(shù)的 5%,，10-8 ... 10-2 毫巴（穩(wěn)定 10 分鐘后）
暴露在真空中的材料 不銹鋼,、鎳鐵合金、鍍鎳,、哈氏合金,、玻璃、銥,、氧化釔 (Y2O3),、鎳、鎢

BPG552 ATM至超高真空雙真空計