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優(yōu)勢(shì)
1,，雙測(cè)量?jī)x（2 個(gè)傳感元件），測(cè)量范圍寬,，降低成本,，節(jié)省空間
2，用于 Bayard-Alpert 系統(tǒng)的 2 根燈絲
3,，皮拉尼互鎖保護(hù),，避免燈絲過(guò)早燒毀
4，自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)節(jié),，減少操作員干預(yù)
5,，電隔離電子元件，避免雜散電流
6,，滑動(dòng)排放模式,，避免切換排放流時(shí)出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象
7，可移動(dòng)的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)芯片延長(zhǎng)了烘烤時(shí)間
8，設(shè)定點(diǎn)繼電器
9,，明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)）,，帶用戶界面
10，模擬輸出,、RS232C 串行接口,、EtherCAT® 接口
11，可與 VGC50x 控制器系列配合使用
12,，向后兼容 BPG402

13,，符合 RoHS 規(guī)范

典型應(yīng)用
半導(dǎo)體工藝中的壓力測(cè)量
工業(yè)鍍膜
低真空到超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制 超高真空范圍

測(cè)量范圍（空氣、O2,、CO,、N2） 5 × 10-10 … 1000 mbar

準(zhǔn)確性   1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar  讀數(shù)的 ±15
            1 x 10-2 mbar … 1000 mbar   讀數(shù)的 ±30
重復(fù)性 讀數(shù)的 5%，10-8 ... 10-2 毫巴（穩(wěn)定 10 分鐘后）
暴露在真空中的材料 不銹鋼,、鎳鐵合金,、鍍鎳、哈氏合金,、玻璃,、銥、氧化釔 (Y2O3),、鎳,、鎢

BPG552 ATM至超高真空雙真空計(jì)