M100B是一種通用的彈性密封的質(zhì)量流量控制器,，可在生產(chǎn),，分析，工業(yè)以及測試等多種應(yīng)用場合測量和控制有腐蝕性氣體的流量,，特別是可重復(fù)性要求高的場合,。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用,。
M100B是一種通用的彈性密封的質(zhì)量流量控制器,，可在生產(chǎn)，分析,，工業(yè)以及測試等多種應(yīng)用場合測量和控制有腐蝕性氣體的流量,，特別是可重復(fù)性要求高的場合。配上合適的壓力控制器,，它還可以作為壓力控制器使用,。
對于當(dāng)今市場上的質(zhì)量流量控制器，M100B可作為直接替代的產(chǎn)品,，標準的3英寸底座使M100B能夠直接進行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道,。它具有模擬通訊模式，其精度為全量程的1%,。
技術(shù)參數(shù)：
全量程：10SCCM,，20SCCM，50SCCM,，100SCCM,，200SCCM，500SCCM,，1000SCCM,，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM,，20000SCCM,，30000SCCM，50000SCCM（可選）
控制量程：2% to * 的全量程,。
測量精度：全量程的1%
靈敏度：全量程的0.1%
熱機時間：小于2Min.
響應(yīng)速度：小于2Sec.
輸入電壓：±15VDC@100ma
輸出電壓：0-5VDC
連接器：模擬： 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數(shù)字：RS485或Device net或Profibus
法蘭接口：Swagelok 4VCR,，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材質(zhì)：316 不銹鋼,。
質(zhì)保期：有限保修自售出之日起18個月,。
例：型號M100B00411CR1BV
校準氣體（SEMI氣體編號）* 采購序列號
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
校準流量SCCM（相當(dāng)?shù)獨鈠ui大50000）
10 11C
20 21C
50 51C
100 12C
200 22C
500 52C
1000 13C
2000 23C
5000 53C
10000 14C
20000 24C
30000 34C
50000 ** 54C
裝配件（Y）（與以下兼容）
SwagelokR 4VCRR 凸接頭 R
0.25英寸 SwagelokR S
SwagelokR 4VCOR G
0.125英寸 Swagelok *** P
6 mm SwagelokR M
閥門（1）
常閉（控制器） 1
連接器（W）
15針D型接口 B
型號 M100B（續(xù)）
密封（Z）****
Buna N B
NeopreneR N
VitonR V
用于M100B的電纜線
CB147-1-10用來將M100B 15針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647
CB259-5-10用來將M100B 15針D型接口連接至246, 247
