1559是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程范圍進(jìn)行氣體的質(zhì)量流量控制,。相比于其它的大流量控制器,，1559*的控制閥門能夠消除振蕩,、具有更好的響應(yīng)時(shí)間。它的這個(gè)特點(diǎn)是通過(guò)使用一“平衡力"閥門的設(shè)計(jì)來(lái)實(shí)現(xiàn)的,，它能夠消除管道壓力引起控制閥門內(nèi)部的非平衡狀態(tài),。1559的精度為全量程的±1％。
1559是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器,，可在20slm（42.5cfh）到200slm（425cfh）量程范圍進(jìn)行氣體的質(zhì)量流量控制,。相比于其它的大流量控制器，1559*的控制閥門能夠消除振蕩,、具有更好的響應(yīng)時(shí)間,。它的這個(gè)特點(diǎn)是通過(guò)使用一“平衡力”閥門的設(shè)計(jì)來(lái)實(shí)現(xiàn)的，它能夠消除管道壓力引起控制閥門內(nèi)部的非平衡狀態(tài),。1559的精度為全量程的±1％,。
例：型號(hào)1559A00421LS1BV 采購(gòu)序列號(hào)
校準(zhǔn)氣體（SEMI氣體編號(hào)）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
**校準(zhǔn)流量SLM－sccm（相當(dāng)?shù)獨(dú)鈠ui大200SLM）
20 021L
50 051L
100 12L
200 22L
裝配件（Y）
標(biāo)配：Swagelok 0.5英寸管 S
選配：SwagelokR 8VCRR 凸接頭 R
選配：SwagelokR 8VCOR 凸接頭 G
閥
常閉 1
電氣/通訊連接器
模擬15針 D B
密封（Z）
標(biāo)配: VitonR V
選配: NeopreneR N
選配: Buna N B
選配: KalrezR K
型號(hào) 1559A（續(xù)）
用于1559A的電纜線
CB259-5-10用來(lái)將1559連接至PR4000, 246, 247
（如要在247上連接2個(gè)以上的通道，需要添加一個(gè)電源,，請(qǐng)用CB1559-1-10）
CB147-1-10用來(lái)將1559連接至146, 186, 647, 167
CB1559-1-M1用來(lái)連接1559A,、247D和260PS
*其他氣體編號(hào)見(jiàn)附錄B
