1179A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器,，可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合,。配上合適的壓力控制器,，它還可以作為壓力控制器使用。
1179A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器,，可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量,，特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器,，它還可以作為壓力控制器使用,。
對(duì)于當(dāng)今市場(chǎng)上的質(zhì)量流量控制器，1179A可作為直接替代的產(chǎn)品,，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使1179能夠直接進(jìn)行安裝而無(wú)需改變現(xiàn)有的氣體管道,。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%,。
技術(shù)參數(shù)：
全量程：10SCCM,，20SCCM，50SCCM,，100SCCM,，200SCCM，500SCCM,，1000SCCM,，2000SCCM,，5000SCCM，10000SCCM,，20000SCCM,。
控制量程：2% to * 的全量程。
測(cè)量精度：全量程的1%
靈敏度：全量程的0.1%
熱機(jī)時(shí)間：小于2Min.
響應(yīng)速度：小于2Sec.
輸入電壓：±15VDC@100ma
輸出電壓：0-5VDC
連接器：模擬： 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數(shù)字：RS485或Device net或Profibus
法蘭接口：Swagelok 4VCR,，Swagelok4 VCO,，Swage 1/4”等
材質(zhì)：316 不銹鋼。
質(zhì)保期：有限保修自售出之日起12個(gè)月,。
例：型號(hào)1179A00411CR1A5VXX 采購(gòu)序列號(hào)
校準(zhǔn)氣體（SEMI氣體編號(hào)）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
校準(zhǔn)流量SCCM－zui大20000（相當(dāng)?shù)獨(dú)猓?/span>
10 11C
20 21C
50 51C
100 12C
200 22C
500 52C
1000 13C
2000 23C
5000 53C
10000 14C
20000 24C
裝配件（與以下兼容）
標(biāo)配：（兼容）SwagelokR 4VCRR 凸接頭 R
選配：（兼容）SwagelokR 4VCOR 凸接頭 G
選配：（兼容）SwagelokR 0.25英寸管 S
長(zhǎng)度適配器 w/ 4 VCR 配件** L
長(zhǎng)度適配器w/ 1/4" Swagelok 配件*** W
閥門
常閉 1
型號(hào) 1179A（續(xù)）
連接器 采購(gòu)序列號(hào)
模擬型：
9針D型接口 A
15針D型接口 B
20針邊緣卡接口 C
15針D型變換接口（Brooks） E
單元設(shè)備15針D型接口 N
Millpore15針D型接口 T
數(shù)字型：
RS-485 5
DeviceNet 6
密封
標(biāo)配: VitonR V
選配: NeopreneR N
選配: Buna N B
選配: KalrezR K
固化軟件版本（僅對(duì)DeviceNetTM）
除非特別說(shuō)明,，MKS將發(fā)運(yùn)訂貨時(shí)的固化軟件版本 XX
用于1179A的電纜線
CB147-12-10用來(lái)將1179 9針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 246, 247, 167, 647
CB259-5-10用來(lái)將1179 15針D型接口連接至246, 247,
CB147-1-10用來(lái)將1179 15針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647
CB259-10-10用來(lái)將1179 20針邊緣卡接口連接至246, 247
CB147-7-10用來(lái)將1179 20針邊緣卡接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647
*其他氣體編號(hào)見附錄B
** 1259C-XXXXX-RX的匹配長(zhǎng)度
***1259C-XXXXX-SX的匹配長(zhǎng)度
