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Delta-質(zhì)量流量計(jì)
  • Delta-質(zhì)量流量計(jì)

貨物所在地：浙江杭州市

所在地： 美國(guó)

更新時(shí)間：2025-05-29 21:00:08

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使用DELTA流量比例控制器（FRC）能更容易獲得Z佳的工藝性能,。FRC廣泛用于不同的流量分離設(shè)備,，如刻蝕,、去膠和PECVD工藝設(shè)備中，F(xiàn)RC使用戶(hù)能夠?qū)怏w或混合氣體分送至同一反應(yīng)室中的兩個(gè)不同區(qū)域,。根據(jù)氣體（或任何混合氣體）及其設(shè)定比率,，F(xiàn)RC會(huì)自動(dòng)將氣體分送到兩個(gè)不同的出口。

DELTA™

流量比例控制器
 
使用DELTA™流量比例控制器（FRC）能更容易獲得*的工藝性能,。FRC廣泛用于不同的流量分離設(shè)備,，如刻蝕、去膠和PECVD工藝設(shè)備中,，FRC使用戶(hù)能夠?qū)怏w或混合氣體分送至同一反應(yīng)室中的兩個(gè)不同區(qū)域,。根據(jù)氣體（或任何混合氣體）及其設(shè)定比率，FRC會(huì)自動(dòng)將氣體分送到兩個(gè)不同的出口,。

在任何新的和已有的工藝設(shè)備中使用FRC都很簡(jiǎn)單。擁有大量程范圍的流量（500/500sccm到10,000/10,000sccm）可供選擇,，FRC均可以滿(mǎn)足您的要求,。憑借擁有版權(quán)的計(jì)算器，我們應(yīng)用工程師們將為您的應(yīng)用選擇正確的部件,。MKS會(huì)傳送給您有關(guān)機(jī)械和電學(xué)細(xì)節(jié)的電子文檔,，幫助您開(kāi)始進(jìn)行部件的整合。由于FRC在工作中保持一個(gè)低于大氣壓的管道壓力,，因而通常不需要特殊的防漏措施,。

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