Transpector® CPM 3殘余氣體分析儀返回列表頁

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產(chǎn)品型號(hào)Transpector CPM RGA

品牌INFICON/美國

廠商性質(zhì)代理商

所在地杭州市

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更新時(shí)間：2025-04-01 10:01:14瀏覽次數(shù)：2074次

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產(chǎn)品分類品牌分類

INFICON殘余氣體分析儀: 殘余氣體分析儀氣體分析系統(tǒng)

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	面議
應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,綜合

Transpector® CPM 3殘余氣體分析儀一直是半導(dǎo)體行業(yè)市場*先的殘余氣體分析儀 (RGA) 過程監(jiān)測系統(tǒng)?，F(xiàn)在,，Transpector CPM 3 通過集成經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的泵送和進(jìn)口系統(tǒng)與新型傳感器和電子元件,，達(dá)到業(yè)內(nèi)*先的測量速度和靈敏度,。Transpector CPM 3 是新型和現(xiàn)有半導(dǎo)體過程（例如，ALD,、CVD,、PVD 和蝕刻）的理想 RGA 過程監(jiān)控器,。

詳情介紹

INFICON Transpector CPM 一直是半導(dǎo)體行業(yè)市場*先的殘余氣體分析儀 (RGA) 過程監(jiān)測系統(tǒng)?，F(xiàn)在,，Transpector CPM 3 通過集成經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的泵送和進(jìn)口系統(tǒng)與新型傳感器和電子元件，達(dá)到業(yè)內(nèi)*先的測量速度和靈敏度,。Transpector CPM 3 是新型和現(xiàn)有半導(dǎo)體過程（例如,，ALD,、CVD,、PVD 和蝕刻）的理想 RGA 過程監(jiān)控器,。

Transpector CPM 3 通過以下特性為合作伙伴提供經(jīng)實(shí)踐證實(shí)的投資回報(bào)率：業(yè)內(nèi)*先的測量技術(shù)，穩(wěn)健的適應(yīng)性架構(gòu),，易于維護(hù),，出色的產(chǎn)品支持

功能

ALD、蝕刻,、CVD 和 300 mm 除氣殘余氣體分析儀 — 實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)過程監(jiān)測和分析
ALD 就緒,，測量速度為每點(diǎn) 1.8 ms（每秒 555 點(diǎn)）
在大多數(shù)苛刻 CVD 和蝕刻應(yīng)用中，展現(xiàn)出經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的耐久性和可靠性
應(yīng)用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件,，由 INFICON 高級(jí)應(yīng)用專家提供支持,，是一款強(qiáng)大的過程監(jiān)測與診斷工具
緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
Hexblock™ 含三個(gè)壓力進(jìn)口并減少表面積，以zui小化表面反應(yīng)時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間
電容隔膜計(jì) (CDG) — CDG 允許用戶監(jiān)測過程壓力,，并自動(dòng)保護(hù)系統(tǒng)不出現(xiàn)壓力偏移
自動(dòng)校準(zhǔn) — 確保長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和精度,，以便進(jìn)行各傳感器和工具的腔室匹配