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產(chǎn)品型號(hào)225

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廠商性質(zhì)代理商

所在地杭州市

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更新時(shí)間：2025-03-31 20:35:59瀏覽次數(shù)：2457次

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產(chǎn)品分類品牌分類

真空閥門: HPS真空閥門 VAT真空閥門壓電閥

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產(chǎn)品簡介

應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

HPS 225系列AUTO-SOFT是一個(gè)止流閥，在開始抽空時(shí)對(duì)低真空泵起節(jié)流作用,。AUTO-SOFT能在系統(tǒng)開始抽空的瞬間迅速關(guān)閉，當(dāng)達(dá)到一定設(shè)定的壓差時(shí)則會(huì)自動(dòng)開啟,，使整個(gè)真空管道線連通以達(dá)到實(shí)現(xiàn)抽真空過程的平衡,。在半導(dǎo)體、薄膜以及其它產(chǎn)業(yè)中,，AUTO-SOFT 可用來取代壓力控制的旁通閥門來提供抽真空的軟啟動(dòng),。

詳情介紹

Series 225系列 AUTO-SOFT®止流閥

HPS 225系列 AUTO-SOFT 是一個(gè)止流閥,，在開始抽空時(shí)對(duì)低真空泵起節(jié)流作用。AUTO-SOFT能在系統(tǒng)開始抽空的瞬間迅速關(guān)閉,，當(dāng)達(dá)到一定設(shè)定的壓差時(shí)則會(huì)自動(dòng)開啟,，使整個(gè)真空管道線連通以達(dá)到實(shí)現(xiàn)抽真空過程的平衡,。在半導(dǎo)體,、薄膜以及其它產(chǎn)業(yè)中,，AUTO-SOFT 可用來取代壓力控制的旁通閥門來提供抽真空的軟啟動(dòng)。這種軟啟動(dòng)過程降低了真空系統(tǒng)中的氣體湍流,，使得系統(tǒng)內(nèi)部的殘留顆粒不會(huì)被吹起,，從而不會(huì)破壞整個(gè)工作過程。

AUTO-SOFT有一個(gè)位于離心軸的葉片,，當(dāng)壓差足夠小的時(shí)候,，一對(duì)螺旋彈簧會(huì)使葉片打開,，而當(dāng)?shù)驼婵毡眠M(jìn)入運(yùn)行狀態(tài)時(shí)，zui初抽氣氣流會(huì)關(guān)閉葉片,，自動(dòng)地對(duì)初級(jí)泵進(jìn)行截流,。