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氦質(zhì)譜檢漏儀相關(guān)介紹

時間：2014-12-15閱讀：2382
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        氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源,、分析器,、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。
   
        氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,，它具有性能穩(wěn)定,、靈敏度高的特點,。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度zui高,，用得zui普遍的檢漏儀器,。

        氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3／s，廣泛地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏,。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較,，本底噪聲顯著減小．其靈敏度可達10-14～10-15Pam3／s,，適用于超高真空系統(tǒng),、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位,，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點．適用于大漏率,、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,，其靈敏度可達10-12Pam3／s。
 
         

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