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鍍膜種類劃分

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鍍膜按類型劃分,,首先可以分為:干式鍍膜和濕式鍍膜兩種。

其中干式鍍膜主要有:真空蒸發(fā)鍍膜,、濺射鍍膜,、真空離子鍍膜3

真空蒸發(fā)鍍膜可細(xì)分為:

電阻蒸發(fā)鍍膜(適用于蒸發(fā)低熔點(diǎn)材料,如金,、銀,、硫化鋅、氟化鎂,、三氧化二鉻等)

電子束蒸發(fā)鍍膜(可蒸發(fā)難熔金屬,,如鉬、鎢,、鍺,、二氧化硅,、氧化鋁等)

高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)鍍膜(蒸發(fā)速率達(dá),蒸發(fā)源溫度穩(wěn)定,,操作簡單,,對材料純度要求較寬。)

電弧加熱蒸發(fā)鍍膜(特別適用于熔點(diǎn)高,,同時(shí)具有一定導(dǎo)電性的材料,,如石墨;裝置簡單,,較廉價(jià),,缺點(diǎn)是放電產(chǎn)生的微米級顆粒會影響膜的一致性)

激光束蒸發(fā)鍍膜(可蒸發(fā)任何高熔點(diǎn)材料)

反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜(蒸鍍難熔化合物,如氟化鎂,、氧化鋇,、氧化錫等)

 

濺射鍍膜可分為:

直流二極濺射:僅適用于導(dǎo)電膜

直流三極濺射:僅適用于導(dǎo)電膜

直流四極濺射:僅適用于導(dǎo)電膜

射頻濺射:采用射頻電源,可鍍氧化硅,,氧化鋁材料

對向靶濺射:可提高沉積速率,,制取磁性鐵、鎳和其他磁性合金膜

離子束(IBS)濺射:利用離子源發(fā)出離子

磁控濺射:在直流二極濺射的基礎(chǔ)上,,在靶材后面安放了磁鋼,,使用弧光發(fā)電,用于蒸發(fā)源,。

 

真空離子鍍膜可分為:

陰極電弧離子鍍:提高了沉積速率和膜的質(zhì)量,;還可生成致密均勻,附著力優(yōu)良的化合物膜

空心陰極離子鍍:使用空心陰極等離子電子束

多弧離子鍍

 

 

濕式鍍膜可分四種:

電鍍

陽極氧化

化學(xué)鍍

化學(xué)轉(zhuǎn)化膜處理

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